[实用新型]一种带有自吸喷淋装置的晶圆冲洗装置有效
| 申请号： | 201821306096.4 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN208728136U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;汪曦凌 | 申请（专利权）人： | 安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 陈国俊 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有自吸喷淋装置的晶圆冲洗装置，包括冲洗槽、喷淋管和抽水泵，所述冲洗槽共有三个，分别为第一槽、第二槽和第三槽，所述喷淋管设置于第二槽的顶部，所述喷淋管上开有喷淋孔，所述抽水泵连接喷淋管和第一槽的底部，所述第一槽的侧面设置有进水口。本实用新型通过设计一种带有自吸喷淋装置的晶圆冲洗装置，将传统的喷淋冲洗和溢流冲洗相结合，解决了喷淋力度不够且槽底颗粒残留的问题，增强了冲洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋管 冲洗装置 喷淋装置 第一槽 晶圆 自吸 本实用新型 冲洗槽 抽水泵 第二槽 冲洗 侧面设置 颗粒残留 喷淋冲洗 传统的 进水口 喷淋孔 喷淋 溢流 | ||
【主权项】：
1.一种带有自吸喷淋装置的晶圆冲洗装置，其特征在于：包括冲洗槽、喷淋管和抽水泵，所述冲洗槽共有三个，分别为第一槽、第二槽和第三槽，所述喷淋管设置于第二槽的顶部，所述喷淋管上开有喷淋孔，所述抽水泵连接喷淋管和第一槽的底部，所述第一槽的侧面设置有进水口。
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