[实用新型]玻璃基板表面粉尘的清理控制系统有效
申请号: | 201821094809.5 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN208662068U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 郭向阳;郭锋;刘文泰;魏德皇 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
主分类号: | B08B11/04 | 分类号: | B08B11/04;B08B5/02;B08B13/00;G01N15/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 董琳;耿超 |
地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开涉及一种玻璃基板表面粉尘的清理控制系统。该系统包括:粉尘检测模块,用于检测玻璃基板表面的粉尘浓度,并将粉尘浓度输出至控制模块;除尘模块,用于清除玻璃基板表面的粉尘;第一开关,与除尘模块连接,用于控制除尘模块的开启或关闭;以及控制模块,分别与粉尘检测模块和第一开关连接,用于在接收到的粉尘检测模块输出的粉尘浓度超过阈值时,控制第一开关闭合,以使除尘模块执行除尘操作;其中,粉尘检测模块包括线偏振光粉尘检测装置。该系统能够精确测量玻璃基板表面的粉尘浓度,便于通过第一开关的开闭来实现自动除尘,可以有效降低除尘装置被堵塞的可能性,降低除尘装置的工作负荷,延长除尘装置的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 粉尘 玻璃基板表面 粉尘检测模块 除尘模块 第一开关 除尘装置 控制模块 控制系统 粉尘检测装置 测量玻璃 工作负荷 基板表面 使用寿命 线偏振光 自动除尘 闭合 输出 阈值时 除尘 开闭 堵塞 检测 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板表面粉尘的清理控制系统,其特征在于,该系统包括:粉尘检测模块,用于检测玻璃基板表面的粉尘浓度,并将所述粉尘浓度输出至控制模块;除尘模块,用于清除所述玻璃基板表面的粉尘;第一开关,与所述除尘模块连接,用于控制所述除尘模块的开启或关闭;以及控制模块,分别与所述粉尘检测模块和所述第一开关连接,用于在接收到的所述粉尘检测模块输出的粉尘浓度超过阈值时,控制所述第一开关闭合,以使所述除尘模块执行除尘操作;其中,所述粉尘检测模块包括线偏振光粉尘检测装置。
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