[实用新型]一种晶圆撕膜机的撕膜机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体，所述撕膜机本体的上表面设置有晶圆固定盘，所述晶圆固定盘的上表面设置有晶圆本体，所述晶圆本体的两侧设置有滑轨，所述滑轨设置在撕膜机本体的上表面，所述滑轨的上表面设置有连接架，所述连接架的内部设置有滚轴，所述滚轴的外侧表面设置有齿轮，所述齿轮的外侧表面设置有导向齿条，所述导向齿条的底面设置在撕膜机本体的上表面；设备的撕膜滚轴外侧表面增设了齿轮，在撕膜的过程中能够保持滚轴进行旋转运动，能够更好的对晶圆进行撕膜，同时滚轴的两端设置了限位用咬合金属片，在需要去除滚轴侧面粘接的膜时便于逆向旋转滚轴并将膜移除，提升了工作人员的工作效率。

主权项

1.一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体（1），其特征在于：所述撕膜机本体（1）的上表面设置有晶圆固定盘（2），所述晶圆固定盘（2）的上表面设置有晶圆本体（3），所述晶圆本体（3）的两侧设置有滑轨（12），所述滑轨（12）设置在撕膜机本体（1）的上表面，所述滑轨（12）的上表面设置有连接架（6），所述连接架（6）的内部设置有滚轴（4），所述滚轴（4）的外侧表面设置有齿轮（5），所述齿轮（5）的外侧表面设置有导向齿条（8），所述导向齿条（8）的底面设置在撕膜机本体（1）的上表面，所述滚轴（4）的两端贯穿连接架（6）的侧面到达连接架（6）的外部，所述滚轴（4）的外侧表面设置有第二咬合用金属片（14），所述滚轴（4）的外部设置有旋钮（7），所述旋钮（7）的内侧表面设置有第一咬合金属片（13），所述滚轴（4）的顶端与旋钮（7）的内壁套接连接。