[实用新型]一种超精密三坐标测试平台

摘要

本实用新型提供了一种超精密三坐标测试平台，包括：基座和支承件连接件，支承件连接件上安装有方形平板真空预压气浮支承件；支承件连接件由X向直线电机驱动；固定在支承件连接件顶部的第一Z向立柱及安装在一侧的第二Z向立柱，第二Z向立柱的底部安装有圆形平板真空预压气浮支承件；Z向立柱上安装有Z向直线电机，第一真空预压气浮组件与Z向直线电机连接；龙门横梁固定在两个第一真空预压气浮组件之间，Y向直线电机安装在龙门横梁上并与第二真空预压气浮组件连接。本超精密三坐标测试平台采用真空预压气浮技术实现检测平台在X、Y、Z向上的无摩擦快速移动，Z向采用双向真空预压气浮组件并通过直线电机直接驱动，减少了Z向的阿贝误差。

主权项

1.一种超精密三坐标测试平台，其特征在于包括：基座，所述基座设置成“L”形，“L”形基座的竖直端面上平行间隔设置有两限位块，两限位块之间形成滑道；支承件连接件，所述支承件连接件设置成“7”形，所述支承件连接件的左端边上和底部均安装有方形平板真空预压气浮支承件，所述安装在支承件连接件的左端边上的方形平板真空预压气浮支承件放置于基座上两限位块之间形成的滑道内，安装在支承件连接件底部上的方形平板真空预压气浮支承件放置在基座底板的平面上；安装在支承件连接件下方的X向直线电机，所述X向直线电机包括通过螺栓固定在基座底板上的直线定子和设置在直线定子上的动子，动子与支承件连接件的底部固定连接，直线定子驱动动子带动支承件连接件沿X向直线移动；安装在支承件连接件下方且与X向直线电机平行设置的光栅尺基座，X向光栅尺安装在光栅尺基座顶部；固定在支承件连接件顶部的第一Z向立柱，并行安装在第一Z向立柱一侧的第二Z向立柱，所述第二Z向立柱的底部安装有圆形平板真空预压气浮支承件，所述圆形平板真空预压气浮支承件放置在基座底板的平面上；所述第一Z向立柱和第二Z向立柱的侧壁上均开设有安装槽，所述安装槽内壁上安装有Z向光栅尺，Z向直线电机安装在所述安装槽内并与Z向光栅尺正对设置，第一真空预压气浮组件与Z向直线电机的动子固定连接，Z向直线电机驱动第一真空预压气浮组件沿Z向直线移动；龙门横梁，所述龙门横梁的左端固定在第一Z向立柱的第一真空预压气浮组件上，龙门横梁的右端固定在第二Z向立柱的第一真空预压气浮组件上，所述龙门横梁的顶部设置有安装槽，安装槽的内壁上安装有Y向光栅尺，Y向直线电机安装在所述安装槽内并与Y向光栅尺正对设置，Y向直线电机的动子与第二真空预压气浮组件连接，Y向直线电机驱动第二真空预压气浮组件沿Y向直线移动；固定在第二真空预压气浮组件底部的检测头，所述检测头与工业电脑连接。