[实用新型]硅片切割过程中产生的废气的处理系统有效
| 申请号： | 201821008418.7 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209005523U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈江俊 | 申请（专利权）人： | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/75 | 分类号： | B01D53/75;B01D53/78;B01D53/48;B01D53/54;B01D53/68 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 224400 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片切割过程中产生的废气的处理系统，包括：依次设置的酸液喷淋塔、与酸液喷淋塔顶端连通的碱液喷淋塔、与碱液喷淋塔顶端连通的氧化剂喷淋塔；其中，酸液喷淋塔设有酸液喷淋器，碱液喷淋塔中设有碱液喷淋器，氧化剂喷淋塔中设有氧化剂喷淋器。上述废气处理系统结构简单，将酸液喷淋塔、碱液喷淋塔、氧化剂喷淋塔相互串联。可以有效的去除硅片切割过程中产生的碱性、酸性和含OH自由基的有害气体。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋塔 酸液 氧化剂 碱液喷淋塔 硅片切割 处理系统 喷淋器 连通 废气 废气处理系统 碱液喷淋器 依次设置 去除 串联 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切割过程中产生的废气的处理系统，其特征在于，包括：依次设置的酸液喷淋塔、与所述酸液喷淋塔顶端连通的碱液喷淋塔、与所述碱液喷淋塔顶端连通的氧化剂喷淋塔；其中，所述酸液喷淋塔设有酸液喷淋器，所述碱液喷淋塔中设有碱液喷淋器，所述氧化剂喷淋塔中设有氧化剂喷淋器。
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