[实用新型]一种用于半导体清洗设备的搅拌装置有效

专利信息
申请号: 201820995740.7 申请日: 2018-06-25
公开(公告)号: CN208437343U 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 成春芳 申请(专利权)人: 世巨科技(合肥)有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 231500 *** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种用于半导体清洗设备的搅拌装置,本实用新型包括FR‑FX1N微型可编程控制器、清洗筒和水泵,清洗筒侧壁上竖向固定有侧左旋喷头组,侧左旋喷头组和侧左旋喷头组之间所在的清洗筒侧壁上安装有侧右旋喷头组,清洗筒外侧壁右侧固定有FR‑FX1N微型可编程控制器,清洗筒内侧底面外沿安装有底左旋喷头,清洗筒下部固定有控制箱,控制箱内部左侧安装二位三通阀,控制箱内部右侧安装有水泵。本实用新型通过设置FR‑FX1N微型可编程控制器、清洗筒和水泵,解决了传统清洗筒内搅拌桨叶占用空间较大,对半导体进行清洗时需用摆放架摆放半导体,半导体从摆放架上脱落与搅拌桨叶触碰而发生损坏的问题。
搜索关键词: 清洗筒 喷头组 左旋 微型可编程控制器 本实用新型 控制箱 水泵 半导体清洗设备 半导体 搅拌桨叶 搅拌装置 摆放架 侧壁 喷头 二位三通阀 内侧底面 竖向固定 占用空间 外侧壁 触碰 外沿 右旋 清洗 摆放
【主权项】:
1.一种用于半导体清洗设备的搅拌装置,包括FR‑FX1N微型可编程控制器(3)、清洗筒(5)和水泵(7),其特征在于:所述清洗筒(5)侧壁上竖向固定有侧左旋喷头组(1),所述侧左旋喷头组(1)设置有五个,且均匀布置在清洗筒(5)侧壁上,所述侧左旋喷头组(1)和侧左旋喷头组(1)之间所在的清洗筒(5)侧壁上安装有侧右旋喷头组(2),所述侧右旋喷头组(2)设置有五个,且均匀布置在清洗筒(5)侧壁上;所述清洗筒(5)外侧壁右侧固定有FR‑FX1N微型可编程控制器(3),所述清洗筒(5)内侧底面外沿安装有底左旋喷头(9),所述底左旋喷头(9)设置有五个,且均匀布置在清洗筒(5)内侧底面上,所述底左旋喷头(9)所在的清洗筒(5)内侧底面位置处内侧安装有底右旋喷头(8),所述底右旋喷头(8)设置有五个,且均匀布置在清洗筒(5)内侧底面上,所述清洗筒(5)下部固定有控制箱(4);所述控制箱(4)内部左侧安装二位三通阀(6),所述控制箱(4)内部右侧安装有水泵(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于世巨科技(合肥)有限公司,未经世巨科技(合肥)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820995740.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top