[实用新型]一种产生低散斑环形光束的光学系统

摘要

本实用新型揭示了一种产生低散斑环形光束的光学系统，该系统包括在同一光路上依次设置的激光器、准直扩束系统、第一锥透镜、第二锥透镜和聚焦透镜，激光器输出激光入射准直扩束系统，准直扩束后的激光光束经过光阑限制后，再经过散斑衰减器形成低散斑准直激光光束，低散斑准直激光光束入射第一锥透镜形成交叉的低散斑锥形光束，在交叉的低散斑锥形光束交叉点后设置有第二锥透镜，交叉的低散斑锥形光束入射第二锥透镜形成中空的低散斑柱状准直激光光束，中空的低散斑柱状准直激光光束入射聚焦透镜后在聚焦平面处形成低散斑环形聚焦光斑。该系统可获得低散斑环形光束，适用于精密激光打孔应用领域，该光学系统结构简单，光束能量利用率高。

主权项

1.一种产生低散斑环形光束的光学系统，其特征在于：该系统包括在同一光路上依次设置的激光器、准直扩束系统、第一锥透镜、第二锥透镜和聚焦透镜，所述激光器沿光轴Z方向放置，在准直扩束系统与第一锥透镜之间放置有用于对激光光束进行限制的光阑，所述激光器用于产生激光，所述激光器与准直扩束系统间隙设置，第一锥透镜与第二锥透镜对称设置，第一锥透镜的锥角与第二锥透镜的锥角相等，准直扩束系统与第一锥透镜之间设置有散斑衰减器，所述散斑衰减器放置于光学平台上，所述散斑衰减器包括驱动机构、支架和毛玻璃，所述驱动机构上架设有支架，所述支架上等间距设置有用于与毛玻璃连接的连接桥，支架为刚性材质，连接桥为柔性硅胶或弹簧，驱动机构驱动支架高频振动，进而带动连接桥上的毛玻璃跟着高频振动；激光器输出激光入射准直扩束系统，准直扩束后的激光光束经过光阑限制后，再经过散斑衰减器形成低散斑准直激光光束，低散斑准直激光光束入射第一锥透镜形成交叉的低散斑锥形光束，在交叉的低散斑锥形光束交叉点后设置有第二锥透镜，交叉的低散斑锥形光束入射第二锥透镜形成中空的低散斑柱状准直激光光束，中空的低散斑柱状准直激光光束入射聚焦透镜后在聚焦平面处形成低散斑环形聚焦光斑。