[实用新型]一种高纯气体纯化装置

摘要

本实用新型涉及气体纯化领域。目的是提供一种高纯气体纯化装置。技术方案是：包括加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A、程控阀组B、原料气接口、恒温水槽、控制单元；原料气接口依次连接进气阀、加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A，程控阀组A和程控阀组B之间连接有脱氧釜组，热交换器放置在恒温水槽内；程控阀组A还连接有再生气接口，程控阀组B还分别连接有真空泵和过滤器，过滤器出气口连接有换向阀，过滤器和换向阀之间连接有纯度检测仪，换向阀与加热釜连接且连接有出气口；进气阀、加热釜、恒温水槽、程控阀组A、程控阀组B、脱氧釜组、真空泵、纯度检测仪、换向阀与控制单元电性连接。运用范围广、简单、高效、经济、环保。

主权项

1.一种高纯气体纯化装置，包括加热釜(1)、反应釜(2)、热交换器(3)、程控阀组A(4)、程控阀组B(8)，其特征在于：还包括原料气接口(13)、恒温水槽(11)、控制单元；所述原料气接口(13)依次连接进气阀(16)、加热釜(1)、反应釜(2)、热交换器(3)、程控阀组A(4)，所述程控阀组A(4)和程控阀组B(8)之间连接有脱氧釜A(5)、脱氧釜B(6)、脱氧釜C(7)，所述热交换器(3)放置在恒温水槽(11)内；所述程控阀组A(4)还连接有再生气接口(15)，所述程控阀组B(8)还分别连接有真空泵(12)和过滤器(9)，所述过滤器(9)出气口连接有换向阀(17)，所述过滤器(9)和换向阀(17)之间连接有纯度检测仪(10)，所述换向阀(17)与加热釜(1)连接，所述换向阀(17)还连接有出气口(14)；所述进气阀(16)、加热釜(1)、恒温水槽(11)、程控阀组A(4)、程控阀组B(8)、脱氧釜A(5)、脱氧釜B(6)、脱氧釜C(7)、真空泵(12)、纯度检测仪(10)、换向阀(17)与控制单元电性连接。