[实用新型]一种标准气体配制装置

摘要

本实用新型涉及标注气体配制领域，目的在于提供一种标准气体配制装置。技术方案是：包括原料气进口、混合罐、稀释气进口、控制单元，所述原料气进口依次连接减压阀A、电磁阀A、缓冲罐、电磁阀B、质量流量控制器A、电磁阀C后与混合罐的进气口连接；所述稀释气进口依次连接减压阀B、质量流量控制器B、电磁阀D后与混合罐的进气口连接，所述混合罐一侧依次连接有电磁阀E、真空泵，所述混合罐出气口依次连接有电磁阀F、取样袋；所述接减压阀A、电磁阀A、电磁阀B、质量流量控制器A、电磁阀C、减压阀B、质量流量控制器B、电磁阀D、电磁阀E、真空泵、电磁阀F与控制单元电性连接。操作简单、配制精度高。

主权项

1.一种标准气体配制装置，其特征在于：包括原料气进口(1)、混合罐(4)、稀释气进口(5)、控制单元，所述原料气进口(1)依次连接减压阀A(9)、电磁阀A(11)、缓冲罐(2)、电磁阀B(12)、质量流量控制器A(3)、电磁阀C(14)后与混合罐(4)的进气口连接；所述稀释气进口(5)依次连接减压阀B(16)、质量流量控制器B(6)、电磁阀D(15)后与混合罐(4)的进气口连接，所述混合罐(4)一侧依次连接有电磁阀E(17)、真空泵(7)，所述混合罐(4)出气口依次连接有电磁阀F(19)、取样袋(8)；所述接减压阀A(9)、电磁阀A(11)、电磁阀B(12)、质量流量控制器A(3)、电磁阀C(14)、减压阀B(16)、质量流量控制器B(6)、电磁阀D(15)、电磁阀E(17)、真空泵(7)、电磁阀F(19)与控制单元电性连接。