[实用新型]离子棒和除静电装置有效
申请号: | 201820868627.2 | 申请日: | 2018-06-06 |
公开(公告)号: | CN208241966U | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 陈化平 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | H05F3/06 | 分类号: | H05F3/06;B08B7/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种离子棒和除静电装置,其中,所述离子棒包括多个针头以及向所述针头提供气体的气路,所述离子棒还包括至少一个超声波振子,所述超声波振子设置于所述离子棒的所述气路上,所述离子棒的所述超声波振子与超声波发生器连接,所述超声波发生器驱动所述超声波振子产生超声波。本实用新型实施例提供的技术方案,不仅解决了离子棒针头以及周边上容易产生异物的问题,而且在离子棒针头聚集白色异物后也能对该异物进行方便的自动清理,且无需拆卸离子棒,也不会影响产品制造的进程。 | ||
搜索关键词: | 离子棒 超声波振子 针头 超声波发生器 本实用新型 除静电装置 异物 白色异物 影响产品 自动清理 超声波 气路 拆卸 驱动 制造 进程 | ||
【主权项】:
1.一种离子棒,所述离子棒包括多个针头以及向所述针头提供气体的气路,其特征在于,所述离子棒还包括至少一个超声波振子,所述超声波振子设置于所述离子棒的所述气路上;所述超声波振子与超声波发生器电性连接,所述超声波发生器驱动所述超声波振子产生超声波。
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