[实用新型]一种枚叶式晶圆清洗机

摘要

一种枚叶式晶圆清洗机，包括设备本体，所述本体包括槽体、进料端、出料端、蚀刻室、冲淋室、磨刷室和吹干室，所述槽体为箱体式结构，槽体两端分别设有进料端和出料端，进料端和出料端下部均设有电机和传动装置，所述传动装置与槽体中部水平设置的传送辊联动，所述冲淋室和蚀刻室的上部均设有喷嘴，冲淋室下部分别设有水箱和水泵，水箱分别与喷嘴、水泵连接，蚀刻室下部设有药液箱，药液箱与喷嘴连接，磨刷室设有磨刷机构，所述磨刷机构磨刷头和升降底座，磨刷头安装在升降底座上，且与传送辊齿轮联动，磨刷头位于传送辊上方，所述吹干室内设有风刀与气管，风刀对称安装在传送辊两侧，且分别与气管联通。

主权项

1.一种枚叶式晶圆清洗机，其特征是，包括设备本体(1)，所述本体(1)包括槽体(2)、进料端(3)、出料端(4)、蚀刻室(5)、冲淋室(6)、磨刷室(7)和吹干室(8)，所述槽体(2)为箱体式结构，槽体(2)两端分别设有进料端(3)和出料端(4)，进料端(3)和出料端(4)下部均设有电机(9)和传动装置(10)，所述传动装置(10)与槽体(2)中部水平设置的传送辊(11)联动，所述冲淋室(6)包括冲淋前室、冲淋中室和冲淋后室，所述进料端(3)至出料端(4)水平方向依次为冲淋前室、蚀刻室(5)、冲淋中室、磨刷室(7)、冲淋后室和吹干室(8)，所述冲淋室(6)和蚀刻室(5)的上部均设有喷嘴(12)，冲淋室(6)下部分别设有水箱(13)和水泵(14)，水箱(13)分别与喷嘴(12)、水泵(14)连接，蚀刻室(5)下部设有药液箱(15)，药液箱(15)与喷嘴(12)连接，磨刷室(7)设有磨刷机构(16)，所述磨刷机构(16)磨刷头(17)和升降底座(18)，磨刷头(17)安装在升降底座(18)上，且与传送辊(11)齿轮联动，磨刷头(17)位于传送辊(11)上方，所述吹干室(8)内设有风刀(19)与气管(20)，风刀(19)对称安装在传送辊(11)两侧，且分别与气管(20)联通。