[实用新型]高浓度臭氧气体系统

摘要

本实用新型提供一种高浓度臭氧气体系统，包括：控制台、管路、隔板、高浓度臭氧发生器、臭氧气体传输控制系统和臭氧浓度PID自动控制系统；且臭氧浓度PID自动控制系统是多通道臭氧浓度PID自动控制系统，臭氧气体传输控制系统包括气体输入口、质量流量控制器、压力传感器和控制阀，本系统能产生高浓度的臭氧气体，并且经臭氧气体传输控制系统和臭氧浓度PID自动控制系统分别调节流量和浓度，可以同时对多个设备进行高浓度臭氧气体的供应，且降低了生产成本。

主权项

1.一种高浓度臭氧气体系统，其特征在于包括：控制台、管路、隔板、高浓度臭氧发生器、臭氧气体传输控制系统和臭氧浓度PID自动控制系统；所述控制台包括位于台面下的箱体，所述箱体包括臭氧输出口，所述臭氧输出口和所述高浓度臭氧发生器连接，所述高浓度臭氧发生器为板状水冷式臭氧发生器并安装于所述箱体的内部，所述高浓度臭氧发生器通过所述管路与所述臭氧气体传输控制系统连接，所述臭氧气体传输控制系统通过螺丝安装在所述控制台的台面上的右侧，所述臭氧气体传输控制系统包括气体输入口、质量流量控制器、压力传感器和控制阀，所述气体输入口位于所述管路的管口处，所述控制阀、所述质量流量控制器和所述压力传感器均安装在所述管路上，所述控制阀电性连接于所述质量流量控制器和所述压力传感器，所述臭氧浓度PID自动控制系统是多通道臭氧浓度PID自动控制系统，所述臭氧浓度PID自动控制系统安装于所述控制台的台面上的左侧并通过所述隔板与外部隔开，所述臭氧气体传输控制系统和所述臭氧浓度PID自动控制系统均与所述高浓度臭氧发生器通过电路连接。