[实用新型]电镀槽结构

摘要

一种电镀槽结构，包括一槽体、至少一喷流模块、至少一电镀液回收模块以及一循环供给模块，该槽体内可容纳电镀液，中央区域为一晶圆置放区；该喷流模块设置于槽体内的侧壁，由下而上依序分布着多个喷流孔，能面对该晶圆置放区接续涌出电镀液，该电镀液回收模块设置于该槽体内且于该晶圆置放区的圆周外围区域，用以持续回收电镀液；该循环供给模块包括至少一供液管、至少一回收管以及泵，该供液管连接于该喷流模块，该回收管连接于该电镀液回收模块，该泵连接着该回收管及供液管且持续循环回收及供给电镀液至该槽体；由此，本实用新型能维持电镀液电场于较佳的流动方向，使电场分布更为平均，提升电镀的效率、可靠度及均匀度。

主权项

1.一种电镀槽结构，其特征在于，所述电镀槽结构包括:一槽体，槽内可容纳电镀液，中央区域为晶圆置放区，在电镀时使晶圆呈直立式潜浸于电镀液中；至少一喷流模块，安装于该槽体的垂直内壁，该喷流模块包括一腔体及分布于其表面的多个喷流孔，多个该喷流孔由下而上依序分布且面对着该晶圆置放区；一电镀液回收模块，安装于该槽体内且于该晶圆置放区的圆周外围区域，持续回收电镀液；一循环供给模块，设置于该槽体外，该循环供给模块包括至少一供液管、至少一回收管以及泵，该供液管连接该喷流模块，该回收管连接该电镀液回收模块，该泵连接着该回收管及该供液管能持续循环回收及供给电镀液至该槽体。