[实用新型]一种舟位带片检测装置有效
| 申请号： | 201820427431.X | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209434148U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 雷小龙;李宝飞;刘强;李福林;李龙 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼 |
| 地址： | 610255 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种舟位带片检测装置，包括电源，石英舟，自动化设备控制板，顶齿电机原点感应器，顶齿电机上极限感应器，还包括欧姆龙对射传感器和顶齿电机检测槽型传感器，欧姆龙对射传感器和顶齿电机检测槽型传感器由电源供电；所述欧姆龙对射传感器安装在石英舟侧面，欧姆龙对射传感器输出端与顶齿电机检测槽型传感器负极连接；所述顶齿电机检测槽型传感器安装在顶齿电机原点感应器与顶齿电机上极限感应器之间，顶齿电机检测槽型传感器的输出端连接到自动化设备控制板的暂停功能输入端。本实用新型装置有效检测舟位顶齿机构带片，硅片位置异常情况，避免顶齿带片导致硅片损失，降低自动化设备制成碎片产生，也减少了人员作业劳动量，节约了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 顶齿 电机检测 传感器 槽型 带片 电机 自动化设备控制 传感器安装 极限感应器 原点感应器 检测装置 石英舟 传感器输出端 本实用新型 传感器负极 输出端连接 自动化设备 电源供电 顶齿机构 功能输入 硅片损失 硅片位置 人力成本 人员作业 有效检测 电源 侧面 节约 | ||
【主权项】：
1.一种舟位带片检测装置，包括电源，石英舟，自动化设备控制板，顶齿电机原点感应器，顶齿电机上极限感应器，其特征在于：还包括欧姆龙对射传感器和顶齿电机检测槽型传感器，欧姆龙对射传感器和顶齿电机检测槽型传感器由电源供电；所述欧姆龙对射传感器安装在石英舟侧面，欧姆龙对射传感器输出端与顶齿电机检测槽型传感器连接；所述顶齿电机检测槽型传感器安装在顶齿电机原点感应器与顶齿电机上极限感应器之间，顶齿电机检测槽型传感器的输出端连接到自动化设备控制板的暂停功能输入端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
