[实用新型]一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具有效
| 申请号： | 201820425812.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208104515U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李升贵 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C4/16 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单且冷却效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 芯轴 背管 内端部 等离子喷涂 工装夹具 锁紧装置 旋转靶材 外端部 芯轴锁 本实用新型 活动插接 冷却效果 伸缩结构 紧装置 基材 | ||
【主权项】：
1.一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴(1)、第二芯轴(2)和背管锁紧装置，其特征在于：第一芯轴(1)的内端部活动插接于第二芯轴(2)的内端部，以实现调节第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的总长度；第一芯轴(1)的内端部或第二芯轴(2)的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)；第一芯轴(1)的外端部和第二芯轴(2)的外端部分别安装有一背管锁紧装置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
