[实用新型]一种等离子发生器有效
| 申请号： | 201820192556.9 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN207995482U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市诚峰智造有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子发生器，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。本实用新型设计开槽式的石英管，可防止在冷热变化中石英管发生热胀冷缩而引起的爆裂；本实用新型气流的出口可沿整个石英管的长度方向排布，电离出的等离子束比较长，处理大面积工件时效率更高；石英管外壁的导流作用也使得整个装置工作时的噪音更小。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 本实用新型 等离子发生器 导流通道 电极棒 外壁 开口 长度方向排布 大面积工件 等离子束 对称分布 径向相对 冷热变化 热胀冷缩 外壁设置 电离 出口端 开槽式 爆裂 侧壁 导流 噪音 流动 出口 | ||
【主权项】：
1.一种等离子发生器，其特征在于，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。
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