[实用新型]一种基于光栅-外腔的半导体阵列激光整形装置有效
| 申请号： | 201820063010.3 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN207663155U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陆秋萍;叶佳慧;黄杰 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于光栅‑外腔的半导体阵列激光整形装置，包括激光器阵列、快轴准直镜、慢轴准直镜、伽利略微透镜阵列、变换透镜、光栅、外腔镜；所述的激光器阵列置于快轴准直镜的后焦面；所述慢轴准直镜连接到快轴准直镜的后焦面；所述的伽利略微透镜阵列位于慢轴准直镜与变换透镜之间，由平凹镜及平凸镜组成；所述平凹镜位于慢轴准直镜的后焦面；所述的变换透镜前焦面连接到快轴准直镜，后焦面连接到光栅；所述外腔镜垂直于光栅衍射的‑1级方向。该装置通过将伽利略式非球面镜与微透镜阵列结合，将微透镜阵列与光栅‑外腔整形结构结合进行激光光束整形，提高整形效率。同时，结构简单，便于调试。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 快轴准直镜 慢轴准直镜 微透镜阵列 后焦面 透镜 外腔 激光整形装置 半导体阵列 激光器阵列 平凹镜 外腔镜 本实用新型 非球面镜 光栅衍射 激光光束 整形结构 整形效率 平凸镜 前焦面 整形 调试 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种基于光栅‑外腔的半导体阵列激光整形装置，包括半导体激光器阵列（1）、快轴准直镜（2）、慢轴准直镜（3）、伽利略微透镜阵列（6）、变换透镜（7）、光栅（8）、外腔镜（9），所述半导体激光器阵列（1）中心单元与快轴准直镜（2）中心、慢轴准直镜（3）中心、伽利略微透镜阵列（6）中心、变换透镜（7）中心及光栅（8）中心位于同一条直线上；所述的半导体激光器阵列（1）置于快轴准直镜（2）的前焦面；所述慢轴准直镜（3）置于快轴准直镜（2）的后焦面；所述伽利略微透镜阵列（6）位于慢轴准直镜（3）与变换透镜（7）之间；所述的变换透镜（7）的前焦面连接到快轴准直镜（2），后焦面连接到光栅（8）；所述光栅（8）与变换透镜（7）呈23.5°倾斜；所述外腔镜（9）垂直于光栅（8）衍射的‑1级方向；其特征在于，所述的伽利略微透镜阵列（6）由平凹镜（4）及平凸镜（5）组成；所述平凹镜（4）位于慢轴准直镜（3）的后焦面。
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