[发明专利]晶圆基座安装工具在审

专利信息
申请号: 201811525648.5 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN111326475A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 姚志强;张逸杰;史洪涛;金嵩 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 刘翔
地址: 201306 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供的一种晶圆基座安装工具,包括:石英叉和底座,所述石英叉包括承载部和杆部,所述承载部的表面上设有一凸出部,所述承载部、所述凸出部与所述杆部相连并交汇于一支点,所述石英叉的杆部安装在所述底座上,所述石英叉能够相对所述底座进行移动,提高了所述石英叉的灵活性,所述凸出部的设置使得所述支点位置更坚固,不易发生断裂,降低了晶圆基座的受损率,从而提高了该晶圆基座安装工具的可靠性和安全性。
搜索关键词: 基座 安装 工具
【主权项】:
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  • 曹凤 - 深圳市陆飞新能源科技有限公司
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  • 本实用新型公开了一种快速翻转装置,涉及太阳能板生产领域,包括装置本体,所述装置本体的内部安装有一号导轨,且一号导轨的内部安装有与一号导轨适配的滑块,所述滑块的外壁通过轴承转动连接有连接轴,且连接轴的外侧端部固定连接有圆盘,所述圆盘的两侧均安装有二号导轨,且二号导轨的内部设置有与二号导轨适配并延伸至二号导轨外侧的调节块,所述调节块的内侧端面安装有限位板,所述连接轴的外壁固定连接有驱动齿轮,且驱动齿轮的下方位于装置本体的内壁安装有齿壁板。本实用新型通过设置导轨、滑块、连接轴、驱动齿轮和齿壁板,在实现对太阳能板快速翻转的同时,避免了电气设备维护繁琐且费用高的问题,降低生产成本。
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