[发明专利]一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统和方法有效

专利信息
申请号: 201811486698.7 申请日: 2018-12-06
公开(公告)号: CN109622555B 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 冯斌;李平;卢礼华;朱德燕;柴向旭;王礼权;王冠中;敬域堃;郑奎兴;朱启华 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B08B17/02 分类号: B08B17/02;B08B5/02;B08B13/00
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 阳佑虹
地址: 621900 四川省绵*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统和方法,属于高功率激光装置技术研究领域。所述系统包括层流单元和风刀单元;所述层流单元用于提供动态洁净层流,所述风刀单元用于提供高压风刀气帘。高功率终端光学系统在长期运行中会在其内部的光学元件表面沉积打靶产生的粉尘和气溶胶污染物,导致光学元件的寿命大大缩短,终端光学元件的洁净控制已经成为限制装置高通量运行的瓶颈,本发明因此提出了风刀气帘防护与洁净层流防护相耦合实现光学元件表面洁净管控的技术措施,可防止打靶产生的粉尘和气溶胶污染物附着于光学元件表面,并将其及时排出终端光学系统,因而可长期维持终端光学系统内光学元件表面的洁净。
搜索关键词: 一种 用于 功率 终端 光学系统 动态 洁净 维持 系统 方法
【主权项】:
1.一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统,用于对终端光学系统腔体以及腔体内的光学元件进行洁净吹扫,其特征在于,所述动态洁净维持系统包括层流单元和风刀单元;所述层流单元用于提供动态洁净层流对尘埃污染物进行清除,所述风刀单元用于提供高压风刀气帘对污染物在光学元件上的沉降进行阻断和隔离;在气体对流通道上,无任何遮挡气流的结构件。
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  • 2023-03-16 - 2023-07-25 - B08B17/02
  • 本实用新型公开了一种耐磨型导轨滑块,包括防尘架,所述防尘架左侧安装有锂电池,所述防尘架滑动连接有集尘盒,所述集尘盒内安装有滤布,所述集尘盒通过吸尘管与扁管互通,所述扁管位于导轨的外侧,所述集尘盒通过气管与微型抽气泵互通,所述防尘架通过螺栓栓接有滑块,所述滑块两侧安装有端盖,所述端盖位于防尘板的内侧,所述滑块设有凹槽,所述凹槽内安装有吸音棉,所述滑块固定连接有外壳,所述外壳内粘接有吸音毡。防尘架和防尘板配合可避免灰尘呈进入滑块与导轨间,提高滑块使用寿命;吸音棉和吸音毡配合可提高整体降噪能力。
  • 一种激光扫描仪保护罩-202320807947.8
  • 李慧 - 上海赛华信息技术有限公司
  • 2023-04-13 - 2023-07-21 - B08B17/02
  • 本实用新型涉及激光扫描仪领域,具体是一种激光扫描仪保护罩,包括L型安装板,所述L型安装板顶部设置有隔板,L型安装板上固定安装有激光扫描仪本体,所述激光扫描仪本体两端设置有保护件,所述保护件顶部固定安装有齿条板,两端的齿条板通过导向组件分别与L型安装板和隔板滑动连接,L型安装板上安装有用于驱动齿条板进行移动的驱动组件;位于激光扫描仪本体两侧的保护件上安装有抽风组件;所述抽风组件包括与保护件连接的抽风罩,所述抽风罩上安装有抽风管,抽风管上安装有抽风泵,所述抽风管端部设置有吹风罩,所述保护件底部还安装有过滤网口,本实用新型可以有效地方便调节保护罩的方位,进而可以方便保护的激光扫描仪的使用。
  • 一种注塑机用防尘罩-202320953655.5
  • 陈祥海;张小根 - 合肥欣浪塑业有限公司
  • 2023-04-25 - 2023-07-21 - B08B17/02
  • 本实用新型涉及注塑机技术领域,且公开了一种注塑机用防尘罩,包括防尘罩本体和防尘机构,所述防尘机构活动安装于防尘罩本体内部,所述防尘机构包括卡接单元和过滤单元,且所述卡接单元和过滤单元均设置于防尘机构表面,所述定位板固定安装于防尘机构表面左右两侧,所述把手设置于定位板表面中心位置,所述卡板固定连接于把手表面一侧。本实用新型中在需要将升降板进行安装时,将对接板和限位块与开设的对接孔和限位槽位置相对应后,便可将升降板升降卡接在防尘罩本体表面两侧,对防尘罩本体内部起到密封的作用,同时拆装也方便,便于工作人员对防尘罩本体内部进行定期的维修和维护,操作方便简单。
  • 密封件-202210001875.8
  • 王星;孙孟立 - 伊利诺斯工具制品有限公司
  • 2022-01-04 - 2023-07-14 - B08B17/02
  • 本申请公开了一种密封件,所述密封件用于密封待密封板上的孔,包括:杆部,唇缘以及密封部,所述密封部围绕所述杆部并且通过注塑工艺模制在所述杆部的底部,并且能够移动到所述杆部的顶部;其中,所述密封部被配置为当所述密封件密封所述待密封板上的孔时,所述密封部能够被夹在所述唇缘和所述待密封板之间,以通过所述密封部沿轴向的弹性变形密封所述待密封板上的孔。在本申请中,通过注塑工艺将密封部模制在杆部后,仅需要向上推动密封部到顶部后就能完成装配,不仅装配过程简单,而且成本低。此外,在本申请中,通过密封部的弹性变形实现密封效果,密封部位更靠近待密封板的孔,密封效果好,而且不容易失效。
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