[发明专利]一种用TFBG实现对Au薄膜生长的实时监控装置在审
| 申请号： | 201811451508.8 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109373916A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;张崇;宫佳琦 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用TFBG实现对Au薄膜生长的实时监控装置，由放大自发辐射光源，偏振片，偏振控制器，TFBG，温控器，光谱仪组成。当TFBG表面沉积Au薄膜之后，其光谱特性会受到影响。由于Au薄膜和介质界面的表面等离子共振效应，两个处于正交极化的偏振光S光和P光在通过TFBG后，透射谱将存在较大差异。通过实时监测镀Au薄膜过程中TFBG的偏振相关损耗变化来实现对Au薄膜的可控沉积，即可实现对生长的Au薄膜厚度的实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 实时监控装置 薄膜生长 偏振光 表面等离子共振 放大自发辐射 偏振相关损耗 偏振控制器 光谱仪 薄膜过程 表面沉积 光谱特性 实时监测 实时监控 正交极化 偏振片 透射谱 温控器 可控 沉积 光源 生长 | ||
【主权项】：
1.一种用TFBG实现对Au薄膜生长的实时监控装置，由放大自发辐射光源（1），偏振片（2），偏振控制器（3），TFBG（4），温控器（5），工作池（6），工作液（7），光谱仪（8）组成；其特征在于：放大自发辐射光源（1）出射的光经过偏振片（2）入射到偏振控制器（3）中，偏振控制器（3）的右端与TFBG（4）相连，将TFBG（4）置于工作池（6）中，并利用温控器（5）加热，TFBG（4）右端与光谱仪（8）相连；镀膜前首先对TFBG（4）做预处理，分别用有机溶剂乙醇、丙酮和甲醇超声清洗5分钟、用浓H2SO4和H2O2体积比为7:3溶液在80℃下处理15分钟、将羟基化的TFBG（4）浸入1％的APTMS甲醇溶液0.5小时，用于Au纳米粒子吸附；镀膜过程中，将TFBG（4）置于浓度为0.01％氯金酸和0.4毫摩尔的盐酸羟胺的混合工作液（7）中沉积生长Au纳米薄膜,并利用温控器（5）使温度保持恒定为22.5℃。
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