[发明专利]一种碳化硅晶体电阻法生长用电源及其方法在审
| 申请号： | 201811419792.0 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109371466A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张岩;付吉国;董伟;赵然;周卫东;曾蕾 | 申请（专利权）人： | 国宏中晶集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100089 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种碳化硅晶体电阻法生长用电源，包括外壳、生长仓和传动仓，外壳内设有生长仓和传动仓，生长仓内壁固定隔热层，隔热层内壁等距安装钨加热环，所述外壳外侧安装有若干电源控制器，且电源控制器与钨加热环分别对应电路连接，电源控制器集成电路连接有FPGA，且FPGA连接计算机，此电源通过计算机的控制系统与FPGA的使用对电源控制器编程，可单独的控制每个钨加热环的温度，便于调节，节约电能，温度控制稳定，质量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 电源控制器 加热环 生长仓 电源 碳化硅晶体 传动仓 电阻法 集成电路连接 隔热层内壁 等距安装 电路连接 控制系统 生长 隔热层 计算机 内壁 编程 节约 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅晶体电阻法生长用电源，包括外壳(1)、生长仓(2)和传动仓(3)，其特征在于：所述外壳(1)内部设有生长仓(2)和传动仓(3)，所述生长仓(2)内壁固定有隔热层(4)，且隔热层(4)内壁等距安装有若干钨加热环(5)，所述外壳(1)外侧安装有若干电源控制器(17)，且电源控制器(17)与钨加热环(5)分别对应电路连接，所述电源控制器(17)集成电路连接有FPGA(18)，且FPGA(18)电路连接有计算机(19)；所述外壳(1)顶部位于生长仓(2)内固定有吊杆(6)，且吊杆(6)底端固定有籽晶(7)；所述生长仓(2)内位于籽晶(7)外侧设有圆形坩埚(8)，且圆形坩埚(8)底部固定有托板(9)，所述托板(9)底面固定连接有螺纹套筒(10)，且螺纹套筒(10)底端穿过隔热层(4)置于传动仓(3)内部，所述传动仓(3)底部中心处转动安装有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)顶端与螺纹套筒(10)啮合连接；所述生长仓(2)内安设有多个分布均匀的测温探头；所述电源控制器(17)通过电控的滑动变阻器控制施加于对应的钨加热环(5)的实际电压负载值。
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