[发明专利]一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法在审

专利信息
申请号: 201811375833.0 申请日: 2018-11-19
公开(公告)号: CN109298000A 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 冯宗强;罗旋;张玲;吴桂林 申请(专利权)人: 重庆大学
主分类号: G01N23/2202 分类号: G01N23/2202
代理公司: 重庆市信立达专利代理事务所(普通合伙) 50230 代理人: 包晓静
地址: 400044 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明属于透射电镜技术领域,公开了一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,根据待减薄透射电镜样品的电化学腐蚀特性、初始规格和拟获得薄区的位置和范围,选取耐腐蚀特性优于待减薄样品的金属模板基材,采用机械和激光切割方法加工成中心具有孔洞的直径3mm金属圆片模板,其中模板中心孔洞略小于样品拟减薄区域;将待减薄样品叠放于模板上,调整样品拟减薄区域与模板孔洞同心并做好固定,整体置于电解双喷仪中进行双喷减薄;结束后取出样品,经清洗晾干后获得具有特定薄区的透射电镜薄膜样品。本发明首次提出基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,该方法工艺简单,操作便捷,设备要求低,适用材料广泛。
搜索关键词: 透射电镜样品 减薄 辅助的 制备 孔洞 减薄区域 薄区 透射电镜薄膜 透射电镜技术 电化学腐蚀 电解双喷仪 激光切割 金属模板 金属圆片 模板孔洞 模板中心 设备要求 晾干 耐腐蚀 叠放 基材 清洗 取出 同心 加工
【主权项】:
1.一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,其特征在于,所述的基于模板辅助的透射电镜样品制备方法包括以下步骤:步骤一:根据待减薄透射电镜样品的电化学腐蚀特性、初始规格和拟获得薄区的位置和范围,选取耐腐蚀特性优于待减薄样品的金属模板基材,采用机械切割方法切取直径3mm、厚度300‑500μm的圆片,采用激光切割方法在样品中心加工不同规格孔洞,制备成中心具有孔洞的直径3mm金属圆片模板,其中模板中心孔洞略小于样品拟减薄区域;步骤二:将待减薄样品叠放于模板上,调整样品拟减薄区域与模板孔洞同心并做好固定,然后将样品和模板整体置于电解双喷仪中进行双喷减薄;步骤三:双喷减薄结束后将样品立即取出,用无水乙醇清洗3‑5次,然后放在滤纸上自然晾干,获得具有特定薄区特征的透射电镜薄膜样品。
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