[发明专利]一种磁隧道结制作方法在审
| 申请号： | 201811298680.4 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111146334A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 车东晨;刘自明;蒋中原;王珏斌;崔虎山;胡冬冬;陈璐;邹志文;孙宏月;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/08 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种磁隧道结制作方法，所使用的刻蚀装置包括样品装载腔室、真空过渡腔室、反应离子等离子体刻蚀腔室、离子束刻蚀腔室、镀膜腔室以及真空传输腔室，在不中断真空的情况下，利用反应离子等离子体刻蚀腔室、离子束刻蚀腔室和镀膜腔室相结合对磁性隧道结进行刻蚀、清洗和镀膜保护。本发明能够有效降低器件损伤和沾污，避免过刻造成的影响，提高器件性能，同时能够精确控制刻蚀图形的陡直度，获得满足性能需求的图形结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 制作方法 | ||
【主权项】：
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