[发明专利]紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片有效
| 申请号： | 201811292306.3 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109451252B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 方桐;刘力源;刘剑;吴南健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H04N5/374 | 分类号： | H04N5/374;H04N5/3745;H04N5/378 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片，涉及太赫兹波探测技术领域。该芯片包括：太赫兹像素阵列为CMOS工艺中的若干层金属；列并行读出电路、电源偏置电路和数字逻辑控制模块均置于所述太赫兹像素阵列的下方，且采用置于所述太赫兹像素阵列下方的CMOS工艺中的若干层金属作为互连线。本发明提供了一种紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片，大大提高了太赫兹阵列图像传感器的集成度，解决了读出电路占用芯片面积过大的问题，减小了芯片整体面积，为大规模阵列图像传感器打下基础。 | ||
| 搜索关键词： | 紧凑型 赫兹 阵列 图像传感器 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片，其特征在于，包括：太赫兹像素阵列，用于接收太赫兹波信号；列并行读出电路，用于将所述太赫兹像素阵列中列像素输出的模拟信号进行放大并转换为数字信号；电源偏置电路，用于给所述太赫兹像素阵列和读出电路提供偏置电压和偏置电流；数字逻辑控制模块，用于给读出电路提供参数配置以及控制像素阵列的行选时间以实现不同的成像帧率；其中，所述列并行读出电路、电源偏置电路和数字逻辑控制模块均置于所述太赫兹像素阵列的下方，且采用置于所述太赫兹像素阵列下方的CMOS工艺中的若干层金属作为互连线。
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