[发明专利]一种铝酸镁光学半球薄壁件的高效超精密加工方法

摘要

本发明公开了一种铝酸镁光学半球薄壁件的高效超精密加工方法，通过设计高速研磨、抛光模具，研究模具制备和修整技术，将模具的面形精度控制在2μm以内；通过设计新的粘结用胶，研究粘接技术和工艺过程，解决半球薄壁件的面形变形问题；分析高速研磨、抛光技术对铝酸镁光学半球薄壁件面形精度和表面粗糙度的影响，研究加工区域材料去除机理；分析高速研磨、抛光工艺参数对研磨、抛光区域材料去除效率和表面质量的影响，创新性的采用准球心高速研磨抛光技术加工铝酸镁光学半球薄壁件，最终保证产品面形精度N＜2，ΔN＜0.2，表面粗糙度Ra<8nm，生产效率提高10倍以上，解决了铝酸镁光学半球薄壁件加工精度低和加工效率低的问题。

主权项

1.一种铝酸镁光学半球薄壁件的高效超精密加工方法，其特征在于，采用准球心研磨抛光技术加工铝酸镁光光学半球薄壁件，具体包括以下步骤：步骤1：粗研工序：选用金刚石浓度为100%、结合剂为金属基、磨料粒度为W28的金刚石丸片，按照覆盖比50%，同心圆排列方式，用由环氧树脂E‑44和650聚酰胺组成的混合胶粘结在半球形凹面模具和半球形凸面模具，在150℃温度下固化15min，制作成粗研模具；将粗研模具的面形精度精修到2μm以内并使用该粗研模具对铝酸镁光光学半球薄壁件进行粗研；步骤2：精研工序：选用金刚石浓度为100%、结合剂为树脂基、磨料粒度为W7的金刚石丸片，按照覆盖比55%，同心圆排列方式，用由环氧树脂E‑44和650聚酰胺组成的混合胶粘结在半球形凹面模具和半球形凸面模具，在150℃温度下固化15min，制作成精研模具；将精研模具的面形精度精修到2μm以内并使用该精研模具对铝酸镁光光学半球薄壁件进行精研；步骤3：抛光工序：选用牌号为GR35、厚度为1.25mm的聚氨酯剪成六瓣或八瓣的花瓣状，对中用氰基丙稀酸酯贴在半球形凸面模具上，用对压膜对压成型，室温固化1h，制作成抛光模具；将抛光模具的面形精度精修到2μm以内并使用该抛光模具对铝酸镁光光学半球薄壁件进行抛光。