[发明专利]基板传送装置和包括其的基板检查装置

摘要

本发明公开一种基板传送装置和包括该基板传送装置的基板检查装置，其中该基板传送装置包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在第一方向上移动，并且包括第一吸垫和第一旋转驱动部分，第一吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋转驱动部分配置为使第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其被设置为与第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在第一方向上移动，并且包括第二吸垫和第二旋转驱动部分，第二吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋转驱动部分配置为使第二吸垫绕第二中心轴线旋转。

主权项

1.一种基板传送装置，包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸并具有喷射孔，气体通过所述喷射孔被喷射以使基板悬浮；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在所述第一方向上移动，所述第一抽吸移动器包括：第一吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的下表面的第一部分；以及第一旋转驱动部分，其配置为使所述第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其与所述第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在所述第一方向上移动，所述第二抽吸移动器包括：第二吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的所述下表面的第二部分；以及第二旋转驱动部分，其配置为使所述第二吸垫绕第二中心轴线旋转。