[发明专利]一种直线轴与回转轴复合的高精度两维静压运动系统

摘要

为了提高静压平台的装配精度，本发明记载了一种直线轴与回转轴复合的高精度两维静压运动系统，包括底座、工作台、上止推板、下止推板、过渡滑块、圆滑块等，所述过渡滑块置于上止推板和下止推板之间，侧止推板的上下两端分别固定在上止推板和下止推板的两侧；圆滑块置于过渡滑块的中心孔内，工作台的凸起穿过上止推板的中心孔与圆滑块连接，力矩电机连接柱穿过下止推板的中心孔与圆滑块连接，力矩电机安装在力矩电机连接柱上，力矩电机匹配置于连接板中心孔中；端面连接板的上下两端分别固定在过渡滑块和连接板上，连接板通过直线电机与下止推板连接，下止推板固定在底座上；本发明属于精密工程技术领域，综合误差小、精度高、装调难度低的优点。

主权项

1.一种直线轴与回转轴复合的高精度两维静压运动系统，其特征在于：包括直线轴和回转轴，所述直线轴包括底座（1）、上止推板（3）、下止推板（4）、侧止推板（5）、过渡滑块（6）、连接板（10）、两块端面连接板（11）和至少一个直线电机（12）；所述回转轴包括工作台（2）、圆滑块（7）、力矩电机连接柱（8）和力矩电机（9）；所述过渡滑块（6）置于上止推板（3）和下止推板（4）之间，所述两块侧止推板（5）位于所述过渡滑块（6）任意两个相对侧，所述侧止推板（5）的上下两端分别固定在所述上止推板（3）和下止推板（4）上；所述圆滑块（7）匹配置于所述过渡滑块（6）设有的中心孔内，所述工作台（2）的凸起穿过所述上止推板（3）设有的中心孔与所述圆滑块（7）螺纹连接，所述力矩电机连接柱（8）穿过下止推板（4）设有的中心孔与所述圆滑块（7）螺纹连接，所述力矩电机（9）安装在所述力矩电机连接柱（8）上，所述力矩电机（9）匹配置于所述连接板（10）设有的中心孔中；所述两块端面连接板（11）分别置于下止推板（4）两相对侧设有的凹槽内，所述两个端面连接板（11）的上下两端分别固定在过渡滑块（6）和连接板（10）上，所述连接板（10）通过至少一个直线电机（12）与所述下止推板（4）连接，所述下止推板（4）固定在所述底座（1）上。