[发明专利]一种除静电装置及除静电方法在审
| 申请号： | 201811087276.2 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109068467A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 徐小俊 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H05F3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种除静电装置及除静电方法。其中，除静电装置包括：工作台，用于放置基板；多个分离机构，用于将所述基板与所述工作台分离；控制器，与所述多个分离机构电连接，用于在将所述基板与所述工作台分离的过程中，控制所述多个分离机构将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；除电器，用于在所述基板与所述工作台分离的过程中，对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有除静电方法去除静电不彻底的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 工作台 除静电 除静电装置 分离机构 边缘区域 中间区域 控制器 静电 除电器 电连接 去除 | ||
【主权项】：
1.一种除静电装置，其特征在于，包括：工作台，用于放置基板；多个分离机构，用于将所述基板与所述工作台分离；控制器，与所述多个分离机构电连接，用于在将所述基板与所述工作台分离的过程中，控制所述多个分离机构将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；除电器，用于在所述基板与所述工作台分离的过程中，对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。
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