[发明专利]含有表面活性剂的前驱体溶液的涂布设备及其方法在审

专利信息
申请号: 201811028149.5 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN110880550A 公开(公告)日: 2020-03-13
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 杭州纤纳光电科技有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/42;H01L51/48;B05C9/06;B05C9/14
代理公司: 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 代理人: 杨文华
地址: 311121 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种含有表面活性剂的前驱体溶液的涂布设备,包括涂布平台以及传送装置,在涂布平台的上方依次设置前部和后部涂布装置、前部和后部后处理装置,前部和后部涂布装置分别包括前部和后部涂布模头、前部和后部模头升降台、前部和后部注射泵以及前部和后部原料瓶,在前部原料瓶中盛装有含有表面活性剂的二价前驱体混合溶液,在后部原料瓶中盛装有一价前驱体溶液;在传送装置的驱动下,放置在涂布平台上的待涂布的基底被前部涂布模头涂布后,被传送装置依次输送到前部后处理装置、后部涂布模头、后部后处理装置。本发明还公开该涂布设备的使用方法。本发明提高涂膜的覆盖率和涂膜表面的平整度,得到膜厚分布更加均匀的钙钛矿薄膜。
搜索关键词: 含有 表面活性剂 前驱 溶液 布设 及其 方法
【主权项】:
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