[发明专利]一种多参数油液检测装置及其制作方法

摘要

本发明专利公开了一种多参数油液检测装置及其制作方法，用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡。基于微流控芯片的制作方法，首次在微流道正中心填充金属杆，引入了电容检测模式；首次将环形流道设置在微流体芯片中，充分利用了平面电感线圈的内孔，保证了金属颗粒物通过检测最为灵敏的区域，可以在保证检测精度的同时提高了芯片的检测通量；该芯片采用了竖直式流道降低油液中的污染物在流道壁上的粘附概率，有效的防止了污染物在流道中的沉积堵塞。该芯片可以完成对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测，对机器设备进行油液综合快速检测提供了新的方法，可以对机器设备进行故障诊断。