[发明专利]一种平面衍射光栅的复制方法

摘要

本发明公开了一种平面衍射光栅的复制方法，该方法步骤如下：a、清洁光栅母版和复制基板；b、清洁后的钨丝、钼舟、硅油、铝丝、三氧化二铝、氟化镁放入镀膜机真空室内；c、将光栅母版装在镀膜机真空室的旋转支架上，真空度抽到1*10‑3pa时镀硅油膜；d、镀三氧化二铝厚膜；e、镀氟化镁膜；f、镀铝膜；g、镀三氧化二铝薄膜；h、将光栅母版放入恒温电热干燥箱内；i、胶粘剂放入恒温电热干燥箱；j、待复制基板、光栅母版、胶粘剂温度一致后进行粘接，粘接后恒温固化；k、分离光栅母板和复制基板，获得复制的平面衍射光栅。本发明的平面衍射光栅在闪耀波长250nm处一级衍射效率＞70%，且一年内一级衍射效率无明显下降。

主权项

1.一种平面衍射光栅的复制方法，其特征在于：该方法步骤如下：a、对光栅母版和复制基板进行清洁处理，处理过的复制基板放入恒温电热干燥箱内；b、螺旋状钨丝以及用钼片做成的钼舟进行清洁后分别固定在镀膜机真空室内的两组电极上，在钼舟内加入硅油，把经过清洁处理的纯度为99.99%的铝丝挂在钨丝上，把纯度为99.99%的三氧化铝和氟化镁分别放入坩锅；c、将清洁处理好的光栅母版装在镀膜机真空室的旋转支架上，然后放下镀膜机钟罩抽真空，当真空度抽到1*10‑3pa时，即可在光栅母板上镀硅油膜；d、当真空度达到1*10‑3pa时，在硅油膜上镀三氧化二铝厚膜；e、当真空度达到1*10‑3pa时，在三氧化二铝厚膜上镀氟化镁膜；f、当真空度达到1*10‑3pa时，在氟化镁膜上镀铝膜；g、当真空度达到1*10‑3pa时，在铝膜上镀三氧化二铝薄膜；h、将已镀三氧化二铝薄膜的光栅母版放入恒温电热干燥箱内保持20min～25min后用于粘接；i、将添加甲基咪唑的环氧树脂胶的胶粘剂放入恒温电热干燥箱内；j、待步骤（a）中的复制基板、步骤（g）中的已镀三氧化二铝薄膜的光栅母版、步骤（i）中的胶粘剂温度一致后，将光栅母板放在铺着一张电容器纸的工装上，将所述的胶粘剂滴在光栅母板后压上复制基板，使胶液展开充满光栅母板与复制基板之间的夹层，待胶膜厚度为80nm～120nm后用酒精棉擦去多余的胶粘剂后用工装固定住静止一段时间，然后放入恒温电热干燥箱内，待胶粘剂固化后让电热干燥箱自然冷却至室温；k、沿着刻线方向分离光栅母板和复制基板，获得复制的平面衍射光栅。