[发明专利]一类高度有序的嵌段高分子材料及其制备和应用有效
| 申请号： | 201810943217.4 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN110835394B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 邓海;李雪苗 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C08F293/00 | 分类号： | C08F293/00 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 陆凤;徐迅 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种嵌段高分子材料及其制备和应用。具体地，本发明公开了一种嵌段共聚物，包含所述嵌段共聚物的所述嵌段高分子材料具有很高的刻蚀对比度，即其中某一嵌段具有抗刻蚀性能，使其规则的图案结构可以在刻蚀后更好地转移到硅片基底上。 | ||
| 搜索关键词： | 一类 高度 有序 高分子材料 及其 制备 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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