[发明专利]一种电磁控制的接触式变刚度微纳米测头

摘要

本发明涉及一种电磁控制的接触式变刚度微纳米测头，该测头包括敏感弹性梁、伪等边三角形连接体、“C”型框架、圆柱形永磁体、圆柱形线圈，所述敏感弹性梁的内端与伪等边三角形连接体的短边连接，梁的外端与圆环形支架内边连接，梁的上下表面贴合有传感器，所述伪等边三角形连接体的中心与阶梯测杆的尾端固定，连接体的长边与刚性横梁连接，所述“C”型框架内侧对称安装有圆柱形线圈，所述圆柱形永磁体与刚性横直梁连接，圆柱形永磁体和圆柱形线圈组成电磁控制部分。本发明通过设置电磁控制部分，可以实现测头系统的刚度调节，有助于减少测头惯性力带来的误触发和范德华力带来的潜在破坏，该系统结构简单控制方便实用性好。

主权项

1.一种电磁控制的接触式变刚度微纳米测头，其特征在于：包括圆环形支架(1)，圆柱形线圈(2)，圆柱形永磁体(3)，圆柱形底座(4)，“C”型框架(6)，敏感弹性梁(7)，阶梯测杆(9)，伪等边三角形连接体(10)，刚性横直梁(11)，所述敏感弹性梁(7)的内端对称固定于伪等边三角形连接体(10)的三个短边，敏感弹性梁(7)的外端固定于圆环形支架(1)的内边，敏感弹性梁(7)的厚度比伪等边三角形连接体(10)的厚度小，敏感弹性梁(7)上表面和下表面贴有应变传感器，应变传感器与信号放大电路连接，信号放大电路与数据采集器连接，数据采集器和电脑连接。