[发明专利]气体流量调节装置及质量流量控制器在审
申请号: | 201810792867.3 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN110735930A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 杜井庆;何漫丽;苏乾益 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创流量计有限公司 |
主分类号: | F16K1/00 | 分类号: | F16K1/00;F16K1/32;F16K27/02;F16K31/00 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京市北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器,其包括:阀口部件,在该阀口部件中设置有第一进气通道;推杆部件,在推杆部件中设置有第一通孔,且在第一通孔中设置有推杆,推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对;并且,推杆通过弹性隔膜与推杆部件弹性连接;驱动组件用于驱动推杆沿靠近或远离第一进气通道的方向移动,以使推杆的第一端面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本发明提供的气体流量调节装置,其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量,而且可以避免因簧片失效而带来的故障。 | ||
搜索关键词: | 推杆 进气通道 推杆部件 气体流量调节装置 阀口部件 出气端 通孔 质量流量控制器 弹性隔膜 弹性连接 方向移动 接触密封 气体接触 驱动推杆 驱动组件 簧片 | ||
【主权项】:
1.一种气体流量调节装置,其特征在于,包括:/n阀口部件,在所述阀口部件中设置有第一进气通道;/n推杆部件,在所述推杆部件中设置有第一通孔,且在所述第一通孔中设置有推杆,所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端相对;并且,所述推杆通过弹性隔膜与所述推杆部件弹性连接;/n驱动组件,用于驱动所述推杆沿靠近或远离所述第一进气通道的方向移动,以使所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端接触密封或者分离。/n
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