[发明专利]一种加热型氢化硅薄膜滤光片在审
| 申请号： | 201810791461.3 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110737041A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;张建英;林磊;苏炎;刘哲;于光龙 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 35211 福州君诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种加热型氢化硅薄膜滤光片，其包括基片、加热膜层和标准具腔体，标准具腔体和加热膜层从上至下依次设置在基片的上端面，所述标准具腔体的顶部和底部分别具有高反膜系，高反膜系由多个高折射率膜层和多个低折射率膜层交替堆叠而成，所述标准具腔体的材料为SiH。本发明中的标准具腔体采用SiH材料替换α‑Si，由于SiH材料的热光系数比α‑Si大，可以补充800nm‑1100nm波段的透过，将现有透过波长范围扩大至800nm‑4000nm。 | ||
| 搜索关键词： | 标准具 腔体 加热膜层 高反膜 低折射率膜层 高折射率膜层 氢化硅薄膜 从上至下 范围扩大 交替堆叠 热光系数 依次设置 加热型 滤光片 上端面 波长 波段 替换 补充 | ||
【主权项】：
1.一种加热型氢化硅薄膜滤光片，其特征在于：其包括基片、加热膜层和标准具腔体，标准具腔体和加热膜层从上至下依次设置在基片的上端面，所述标准具腔体的顶部和底部分别具有高反膜系，高反膜系由多个高折射率膜层和多个低折射率膜层交替堆叠而成，所述标准具腔体的材料为SiH。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州高意光学有限公司，未经福州高意光学有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810791461.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 滤波自聚焦透镜及光通信无源光器件-201911141896.4
- 张于帅 - 苏州浩联光电科技有限公司
- 2019-11-20 - 2020-02-14 - G02B5/28
- 一种滤波自聚焦透镜及光通信无源光器件，涉及光学元件领域。滤波自聚焦透镜包括自聚焦透镜本体及滤光膜，自聚焦透镜本体具有用于输出平行光的第一出光面，滤光膜镀制于第一出光面，滤光膜由高折射率膜层和低折射率膜层自靠近第一出光面至远离第一出光面的方向交替堆叠所得，高折射率膜层由氢化硅制得。滤波自聚焦透镜及光通信无源光器件均通过在第一出光面镀制有滤光膜以替代滤光片，有效节省制备成本，同时由于高折射率膜层由氢化硅制得，其在波长域内具有高达3.6的折射率，有效减薄滤光膜的厚度，极大的降低了工艺难度，提高产品的良率，同时达到了自聚焦透镜与滤光片组合的效果。
- 大视场火焰探测用红外滤光片及其制备方法-201911074298.X
- 何虎;于海洋;许晴;张杰;王爽 - 上海翼捷工业安全设备股份有限公司
- 2019-11-06 - 2020-02-14 - G02B5/28
- 本发明涉及一种大视场火焰探测用红外滤光片及其制备方法，其中，所述的红外滤光片包括基底材料、长波通膜系结构及短波通膜系结构，所述的长波通膜系结构与短波通膜系结构分别镀制于所述的基底材料的两面，所述的基底材料双面抛光，且所述的基底材料由在中红外波段透明且属于高折射率的红外材料构成；采用该种结构的红外滤光片通过慎重选取滤光片透射波段，合理选用第三种膜层材料及相应的膜系结构设计，能够减少斜入射时光谱的偏振分离和漂移现象。采用本发明的大视场火焰探测用红外滤光片，使用较低的成本，就可以有效满足110°的大视场火焰探测的技术要求，且通过相应的制备方法可以非常便捷的制备出该大视场火焰探测用红外滤光片。
- 多光谱滤波器-201910689420.8
- 乔治·J·欧肯法斯 - 唯亚威通讯技术有限公司
- 2019-07-29 - 2020-02-11 - G02B5/28
- 本申请涉及多光谱滤波器。光学滤波器可以包括衬底、第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜包括一组层中的第一子组层，第二反射镜包括该一组层中的第二子组层。光学滤波器可以包括间隔件。间隔件可以包括该一组层中的第三子组层。该一组层可以包括与第一折射率相关联的多个高折射率层和与第二折射率相关联的多个低折射率层，第二折射率小于第一折射率。光学滤波器可以与从至少大约1200纳米(nm)到大约1900nm的光谱范围相关联。
- 一种镀膜树脂滤光片的膜层结构及其镀膜方法和治具-201911191006.0
- 吴志涵;王强;宋涛;陆春媚 - 湖北东田光电材料科技有限公司
- 2019-11-28 - 2020-02-07 - G02B5/28
- 本发明提供一种镀膜树脂滤光片的镀膜膜层结构，可以提高可见光透过率，以及提出一种镀膜方法以及适配该方法设计的治具，包含配合使用的上治具和下治具，改善原有高能镀膜工艺导致树脂材料卷曲的问题。
- 滤光片-201920843250.X
- 陈策;丁维红;方叶庆;杨伟;肖念恭 - 信阳舜宇光学有限公司
- 2019-06-05 - 2020-02-04 - G02B5/28
- 本申请公开了一种滤光片。该滤光片的一具体实施方式包括基底和设置在所述基底的第一面外侧的第一膜系，所述第一膜系包括高折射率膜层、低折射率膜层和匹配膜层；所述匹配膜层的材料包括氮掺杂硅锗混合物，所述氮掺杂硅锗混合物的化学式为Si
- 滤光片及光学系统-201920844253.5
- 陈策;丁维红;肖念恭;董文瑞;易善友;方叶庆 - 信阳舜宇光学有限公司
- 2019-06-05 - 2020-02-04 - G02B5/28
- 本申请的实施例公开了一种滤光片及光学系统。该滤光片的一具体实施方式包括：基底，基底包括相对的第一面和第二面；基底的第一面外侧设置有第一膜堆，基底的第二面外侧设置有第二膜堆；其中，第一膜堆包括交叠设置的第一膜层和第二膜层，第一膜层的折射率大于第二膜层的折射率，第一膜层的物理厚度为h
- 一种加热型氢化硅薄膜滤光片-201810791461.3
- 吴砺;张建英;林磊;苏炎;刘哲;于光龙 - 福州高意光学有限公司
- 2018-07-18 - 2020-01-31 - G02B5/28
- 本发明公开了一种加热型氢化硅薄膜滤光片，其包括基片、加热膜层和标准具腔体，标准具腔体和加热膜层从上至下依次设置在基片的上端面，所述标准具腔体的顶部和底部分别具有高反膜系，高反膜系由多个高折射率膜层和多个低折射率膜层交替堆叠而成，所述标准具腔体的材料为SiH。本发明中的标准具腔体采用SiH材料替换α‑Si，由于SiH材料的热光系数比α‑Si大，可以补充800nm‑1100nm波段的透过，将现有透过波长范围扩大至800nm‑4000nm。
- 固体摄像装置-201880038033.1
- 长屋胜也;畠山耕治;一户大吾 - JSR株式会社
- 2018-06-27 - 2020-01-31 - G02B5/28
- 固体摄像装置具有第一近红外线截止滤波器与固体摄像元件，第一近红外线截止滤波器具有玻璃基材与设于玻璃基材的至少一者上的介电体多层膜。固体摄像元件具有：半导体基板；设于半导体基板的第一光接收元件；以及设于第一光接收元件上的光学滤波器。光学滤波器具有：设于第一光接收元件上的彩色滤波器层；及设于彩色滤波器层上的第二近红外线截止滤波器。第一近红外线截止滤波器设于与第二近红外线截止滤波器相向的位置。介电体多层膜的层叠数是以10层以上且未满40层来设置。
- 一种窄带滤光片及其制备方法-201710272067.4
- 乔冠军;李媛媛;侯海港;刘桂武;王明松;邵海成 - 江苏大学
- 2017-04-24 - 2020-01-24 - G02B5/28
- 本发明涉及一种红外滤光片生产技术，具体涉及一种CO
- 一种锗基底长波红外带通滤光片-201920992197.X
- 赵中亮 - 上海欧菲尔光电技术有限公司
- 2019-06-28 - 2020-01-21 - G02B5/28
- 本实用新型公开了一种锗基底上的8~12μm长波红外带通滤光片，该带通滤光片使用了锗（Ge）和硫化锌（ZnS）为不同折射率的镀膜材料，使用物理气相沉积（PVD）的方法，并以离子源辅助沉积与合适的基底烘烤温度等特定工艺条件，在锗基底的两个表面分别沉积多层非规整的膜层。该长波红外带通滤光片可以使得在8~12μm波长区间具有良好的透光效果，平均透过率＞90%，在1~7.5μm和12.5~17μm波段内高度截止，可以有效降低杂散光干扰，提高红外探测器的灵敏度和探测效率。
- 一种红色光学变色薄片及其制备办法-201911142652.8
- 张秋月;郑康培 - 张秋月
- 2019-11-20 - 2020-01-17 - G02B5/28
- 本发明公开了一种红色光学变色薄片，所述薄片具有中心反射层，由中心反射层向外依次对称或非对称设有第一介质层、第一金属分光层、第二介质层的基本结构，通过选用合适的材料和膜层厚度，制备对称结构或不对称结构，构筑对红色波段相长的膜系结构，构造接近CIE1931体系中的过饱和的红，实现了在红色区间相长的条件，并且将红色波段主峰往视效率高效区前移，缩小了红色区间的半波宽，保证了色纯度和变色性能，实现正视颜色显示位于CIE1931体系中的红色色品区域，达到优化视效果，同时达到降低膜厚，提高材料利用率，降低能耗的目的。
- 一种日盲滤光器-201911065168.X
- 高雅忱;侯二滨 - 秦皇岛蓝臣光电技术有限公司
- 2019-11-04 - 2020-01-14 - G02B5/28
- 本发明公开一种日盲滤光器，该日盲滤光器应用于光电系统中，包括：第一紫外滤光片、第一有机膜、第一干涉滤光片、硫酸镍晶体层、第二干涉滤光片、第二有机膜、第二紫外滤光片、压环和金属壳体；第一紫外滤光片、第一有机膜、第一干涉滤光片、硫酸镍晶体层、第二干涉滤光片、第二有机膜和第二紫外滤光片依次排列形成滤光组件；滤光组件匹配设置在金属壳体内；金属壳体的两端分别设置一压环。自然光经日盲滤光器后仅出射240‑280nm的光，其他波长的光全都被截止，能够提高光电系统的探测性能。
- 渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片-201710498955.8
- 卫耀伟;刘浩;蔡清元;王震;潘峰;张哲;刘志超;吴倩;罗晋;欧阳升 - 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 2017-06-26 - 2020-01-14 - G02B5/28
- 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。
- 一种透射滤光片-201810758343.2
- 季陈纲 - 深圳市融光纳米科技有限公司
- 2018-07-11 - 2020-01-10 - G02B5/28
- 本申请公开一种透射滤光片，该透射滤光片包括衬底基板以及依次位于所述衬底基板上的第一金属层、吸收介质层和第二金属层，所述第一金属层、所述吸收介质层以及所述第二金属层组成光学谐振腔，用以选择性的透射不同波长的光，其中，所述第一金属层和第二金属层的厚度相同。通过上述方式，本申请能够显著增强透射光的色纯度，提高透射滤光片的角度不敏感特性。
- 近红外窄带滤光片及光学传感系统-201920843239.3
- 肖念恭;方叶庆;丁维红;陈策 - 信阳舜宇光学有限公司
- 2019-06-05 - 2020-01-07 - G02B5/28
- 本申请提供一种近红外窄带滤光片及光学传感系统。上述滤光片包括：基板；窄带通膜系，窄带通膜系设置在基板的第一侧；以及宽带通膜系或长波通膜系，其中，宽带通膜系设置在基板的与第一侧相对的第二侧，宽带通膜系的通带宽于窄带通膜系的通带，长波通膜系设置在基板的与第一侧相对的第二侧，长波通膜系的通带宽于窄带通膜系的通带，其中，窄带通膜系包括在780～3000nm的波长范围内折射率大于3的高折射率层以及折射率小于3的低折射率层，以及其中，近红外窄带滤光片的反射色在CIE xyz坐标系下满足：x<0.509；y<0.363；以及z<50％。本申请的技术方案可得到多样化反射色、低反射能量强度、低反射色亮度的近红外窄带滤光片，满足手机全面屏中的屏下器件及车载器件应用需求。
- 一种消偏振的立方棱镜截止滤光片-201920709936.X
- 艾曼灵;金波;郑臻荣;顾培夫 - 杭州科汀光学技术有限公司
- 2019-05-17 - 2019-12-31 - G02B5/28
- 本实用新型公开了一种消偏振的立方棱镜截止滤光片，包括两个等腰直角棱镜和设置所述两个等腰直角棱镜之间的截止滤光多层膜，所述的截止滤光多层膜包括交替设置的低折射率膜、中间折射率膜和高折射率膜。所述的截止滤光多层膜由初始结构(0.795L 1.336M 1.12H 1.336M 0.795L)
- 近红外滤光片及其制备方法和滤光设备-201810838309.6
- 周群飞;朱斌 - 蓝思科技(长沙)有限公司
- 2018-07-26 - 2019-12-17 - G02B5/28
- 本发明涉及光学器件技术领域，具体而言，提供了一种近红外滤光片及其制备方法和滤光设备。本发明提供的近红外滤光片，包括玻璃基体和设于玻璃基体一侧表面的滤光层，滤光层包括依次交替设置的SiO
- 三色滤光片-201920513657.6
- 朱元强 - 福建福特科光电股份有限公司
- 2019-04-16 - 2019-11-29 - G02B5/28
- 本实用新型涉及光学领域，特别涉及一种三色滤光片。该滤光片由光学玻璃基体以及分别沉积在光学玻璃基体的两侧面上的三通滤光膜和宽带通滤光膜组成，所述三通滤光膜的三个通带分别对应红、绿、蓝三基色，所述宽带通滤光膜截止红、绿、蓝三通带以外的其它旁通带。本实用新型的三个透射通带分别位于红、绿、蓝三基色的波长范围内，当自然光通过该滤光片时会被分成红、绿、蓝三基色，不仅透过谱带较窄、峰值透过率高，而且可阻断混合光源中的紫外线和红外线，有助于获得强度理想、色彩饱和度高的红、绿、蓝三色光，此外，仅通过在单个玻璃基体上进行双面镀膜，克服了现有技术中体积大、加工成本高、难度大等缺点。
- 光学滤波器-201810240360.7
- 刘凯;黄永清;段晓峰;任晓敏;王琦;蔡世伟;位祺 - 北京邮电大学
- 2018-03-22 - 2019-11-22 - G02B5/28
- 本发明实施例提供了一种光学滤波器，包括：第一反射镜，以及至少包含一第二反射镜的法布里‑珀罗谐振腔，第一反射镜的反射率大于第一预设值；第二反射镜的中心波长位于第一反射镜的反射谱中以预设波长为中心的第一预设波长范围内；第一反射镜设置在法布里‑珀罗谐振腔内，在第一反射镜的两侧分别设置有光学优化层，光学优化层用于使光学滤波器在反射光谱区内包含预设波长的第二预设波长范围内的反射率小于第二预设值。本发明实施例提供的一种光学滤波器，通过在第一反射镜外嵌套一低Q值法布里‑珀罗谐振腔，在第一反射镜的两侧分别设置有光学优化层，可以将一定波长范围内的光通过反射镜的反射和透射分为两部分，实现不同波长的光的分离。
- 辐射制冷滤光片及其制备方法和应用-201810882085.9
- 沈伟东;袁华新;杨陈楹;郑晓雯;沐雯;王震;袁文佳;章岳光 - 浙江大学
- 2018-08-03 - 2019-11-19 - G02B5/28
- 本发明公开了一种辐射制冷滤光片，包括基板，所述的基板单面抛光，所述基板的毛面上设有金属反射层，所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的A层和B层；每层A层、B层的厚度为50～400nm；所述A层的材料为二氧化硅或氧化铝，所述B层的材料为二氧化钛、氮化硅或碳化硅；或，所述A层的材料为二氧化钛或氧化铝，所述B层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅；所述顶层的材料为氟化镱、氟化钇或硫化锌；中间层与顶层共同构成在大气透明窗口(8～13um波段)波段的多谐振吸收增强器。相比于传统的滤光片，本发明的滤光片不但能长时间地在强光下工作，并且能够实现被动地辐射制冷。
- 光学部件-201880022730.8
- 吉弘达矢;谷武晴 - 富士胶片株式会社
- 2018-02-27 - 2019-11-19 - G02B5/28
- 一种光学部件，其具备：基材；及层叠结构，配置于所述基材上且由材质不同的2种以上的层构成，构成所述层叠结构的层的数量为10以上，构成所述层叠结构的层的最大层厚为8nm以下，400nm～800nm的波长范围或6μm～12μm的波长范围内的最低透射率为10％以上。
- 波长可调谐的MEMS-法布里-珀罗滤波器-201480070223.3
- M·卡迈勒;T·李;D·尤;漆启年 - 英菲尼斯有限责任公司
- 2014-11-25 - 2019-11-19 - G02B5/28
- 将一种基于法布里‑珀罗(FP)滤波腔调谐的使用微机电系统(MEMS)的波长可调谐增益介质设置为可调谐激光器。所述系统包括激光腔以及用于波长选择的滤波腔。所述激光腔由如半导体光放大器(SOA)等增益介质、两个准直透镜以及一端部反射镜组成。所述MEMS‑FP滤波腔包括可通过静电力控制的固定反射镜以及可移动反射镜。通过移动MEMS反射镜，能够通过改变FP滤波腔长度来调谐波长。所述MEMS‑FP滤波腔的位移能够通过使用阶梯电压来离散调谐或通过使用连续的驱动电压来连续调谐。用于连续调谐的驱动频率能够为MEMS结构的谐振频率或任何其它频率，并且调谐范围能够覆盖如30nm、40nm以及超过100nm等不同的调谐范围。
- 红外三波峰镀膜工艺-201910636162.7
- 王刚;葛文志;翁钦盛 - 杭州美迪凯光电科技股份有限公司
- 2019-07-15 - 2019-11-15 - G02B5/28
- 本发明公开了一种红外三波峰镀膜工艺，包括镀膜设备、滤光片，镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820‑1100nm之间进行增透；第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100‑1200nm之间进行截止；第三膜堆对中心波长870‑900nm、870‑1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透；滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。本发明设计合理，工艺简单，可以使滤光片在镀膜中形成三个红外透过区域。
- 专利分类
