[发明专利]多晶硅棒和多晶硅棒的制造方法在审
| 申请号： | 201810724213.7 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN109252215A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 宫尾秀一;星野成大;冈田哲郎;祢津茂义;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 满凤;金龙河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供适合作为单晶硅制造用原料的多晶硅棒和多晶硅棒的制造方法。在通过基于化学气相法的析出而制造直径为150mm以上的多晶硅棒时，在反应炉内配置多对硅芯线，将所述多晶硅棒的最终直径的平均值设为D(mm)、将所述多对硅芯线的相互间隔设为L(mm)时，将D/L的值设定为小于0.40的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅棒 制造 硅芯 化学气相法 单晶硅 析出 反应炉 配置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅棒，其为通过基于化学气相法的析出而培育出的多晶硅棒，其特征在于，不含有与所述多晶硅棒的长轴方向垂直的方向的粒径dV大于与所述多晶硅棒的长轴方向平行的方向的粒径dP、即dV>dP的形状的针状结晶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越化学工业株式会社，未经信越化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810724213.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
