[发明专利]一种制备高纯三氟碘甲烷的方法在审
| 申请号： | 201810628166.6 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN108675914A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 董利;庆飞要;郭占英;贾晓卿 | 申请（专利权）人： | 宇极（廊坊）新材料有限公司;北京宇极科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C07C17/389 | 分类号： | C07C17/389;C07C17/383;C07C19/16 |
| 代理公司： | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11333 | 代理人： | 胡敬红 |
| 地址： | 065001 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备高纯三氟碘甲烷的方法。原料三氟碘甲烷在一定温度和压力下，以一定流量经过两级吸附柱，除去大部分水以及部分有机杂质后，进入精馏塔中，在低温下进行间歇精馏，塔顶放空除去C1‑C5的卤代烷烃、卤代烯烃、卤代炔烃、氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳等杂质，从而得到纯度大于99.99％的高纯三氟碘甲烷，其中H2O含量低于30ppmv，HF含量低于1ppmw，符合半导体刻蚀和电气绝缘行业要求。该方法工艺合理，操作简单，是制备高纯三氟碘甲烷的理想技术。 | ||
| 搜索关键词： | 三氟碘甲烷 高纯 制备 氮气 放空 电气绝缘 间歇精馏 理想技术 两级吸附 卤代炔烃 卤代烷烃 卤代烯烃 行业要求 有机杂质 一氧化碳 精馏塔 二氧化碳 刻蚀 塔顶 半导体 氧气 | ||
【主权项】：
1.一种制备高纯三氟碘甲烷的方法，采用如下顺序步骤：1)在密闭环境的条件下，将原料三氟碘甲烷在气相条件下进入吸附柱除去水以及部分有机杂质；2)三氟碘甲烷经过吸附后引入精馏塔，进行间歇精馏，塔顶放空除去C1‑C5的卤代烷烃、卤代烯烃、卤代炔烃、氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳杂质后，再收集纯度大于99.99％的高纯三氟碘甲烷灌装保存；其中吸附柱中吸附剂为硅胶、活性氧化铝、活性炭、碳分子筛、A型分子筛、X型分子筛、Y型分子筛、ZSM‑5型分子筛。
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