[发明专利]一种低能电子衍射仪有效

专利信息
申请号: 201810520790.4 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN110542700B 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 乔山 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: G01N23/20058 分类号: G01N23/20058
代理公司: 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 代理人: 钱文斌
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种低能电子衍射仪,包括:电子发生装置、带电粒子光学系统、样品及二维图像型电子探测器。电子发生装置用于生成电子;带电粒子光学系统包括磁场及非轴对称电透镜群,磁场用于分离入射及出射带电粒子的运动轨道,并实现带电粒子运动方向的偏转;非轴对称电透镜群用于补偿磁场光学特性在垂直及平行磁场方向的非对称性,减小像差,并使带电粒子束在像平面上在沿垂直磁场方向和平行磁场的两个方向上同时成像。本发明的低能电子衍射仪可以实现入射和出射带电粒子轨道的分离,从而避免各个部件的几何配置困难,实现无电子枪阴影的低能电子衍射测量并使时间分辨低能电子衍射测量更为便利。
搜索关键词: 一种 低能 电子衍射
【主权项】:
1.一种低能电子衍射仪,其特征在于,所述低能电子衍射仪至少包括:电子发生装置、带电粒子光学系统、样品及二维图像型电子探测器;其中,/n所述电子发生装置用于生成电子;/n所述带电粒子光学系统用于将使所述电子发生装置生成的电子偏转第一预定角度后成聚焦平行束入射至所述样品表面,并使从所述样品表面衍射的电子束偏转第二预定角度后在所述二维图像型电子探测器上成像;所述带电粒子光学系统包括磁场及非轴对称电透镜群,所述磁场用于分离入射及出射带电粒子的运动轨道,并实现所述带电粒子运动方向的偏转;所述非轴对称电透镜群用于补偿磁场电子光学特性在垂直及平行磁场方向的非对称性,减小像差,并使带电粒子束在像平面上在沿垂直磁场方向和平行磁场的两个方向上同时成像。/n
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