[发明专利]一种分波段探测器及其制备方法在审
申请号: | 201810496044.6 | 申请日: | 2018-05-22 |
公开(公告)号: | CN108649081A | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 刘新科;洪悦华;李奎龙;李治文;胡聪;王佳乐 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01L31/0336 | 分类号: | H01L31/0336;H01L31/101;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 袁文英 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种分波段探测器及其制备方法,该分波段探测器包括:SiC衬底、附于所述SiC衬底两侧的SiC材料层和MoS2材料层,以及置于所述SiC材料层和MoS2材料层上的电极,由于具有SiC材料层和MoS2材料层,在其处于工作时,探测器的SiC材料层将响应波长小于380nm的紫外波段,同时探测器的MoS2材料层将会响应波长大于380nm小于680nm的可见光波段,即本发明提供的探测器能够实现分波段响应。 | ||
搜索关键词: | 探测器 材料层 分波段 波长 衬底 制备 响应 可见光波段 紫外波段 电极 | ||
【主权项】:
1.一种分波段探测器,其特征在于,所述分波段探测器包括:SiC衬底、附于所述SiC衬底两侧的SiC材料层和MoS2材料层,以及置于所述SiC材料层和MoS2材料层上的电极。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
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