[发明专利]参考面平面度检验的优化方法有效
| 申请号： | 201810480266.9 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108917662B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 盛斌;黄元申;吕昊宇;刘安琪;李红叶 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学;上海光学仪器研究所 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;王晶 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种参考面平面度检验的优化方法，将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度；通过简单计算即可以得到三个平面更高精度的平面度检验结果。本发明通过优化测试中所需旋转的角度，提高了平面度检验精度，适用于多个面形的绝对测量。 | ||
| 搜索关键词： | 参考 平面 检验 优化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种参考面平面度检验的优化方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；步骤二：通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度。步骤三：将第二平面标准镜装夹在相同位置，将被测件装夹在原始测量位置并依据步骤二中选择角度进行旋转，调整第二平面标准镜的位置使其中心回到标定位置，使第二平面标准镜的工作面B与被测件的被测面C发生空腔干涉，利用数字波面干涉仪测量；步骤四：使用附加测试结果替代其对应原第二平面标准镜的工作面B与被测件的被测面C旋转后的测试结果，重新计算得到第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布。
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