[发明专利]一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置在审
| 申请号： | 201810456410.5 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108385162A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 杨定勇;郭茂勇 | 申请（专利权）人： | 扬州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 于贺贺;朱进 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，包括一组炉体、与每一炉体配套使用并通过炉体管道相连的炉体泵以及一个滑阀真空泵；所述的滑阀真空泵通过设置的气动蝶阀组件连接有滑阀真空泵管道；所述的滑阀真空泵管道又连接安装有分路管道；而所述的分路管道又连接安装有钢丝波纹管道。本发明中设置一台使用的和一台备用的滑阀真空泵并通过设置的滑阀真空泵管道、分路管道、钢丝波纹管道以及对应安装的气动蝶阀组件和止回阀，再配合连接炉体泵和铸锭炉的炉体，通过PLC程序控制和炉体泵的相互切换实现在炉体熔化2阶段的时候暂时关闭炉体泵的操作，从而有效的实现智能控制抽真空系统中各阶段操作中节约电能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 滑阀真空泵 抽真空系统 分路 多晶硅铸锭炉 钢丝波纹管 节能装置 连接安装 气动蝶阀 智能化 熔化 配合连接 智能控制 组件连接 止回阀 铸锭炉 备用 节约 | ||
【主权项】：
1.一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：包括一组炉体(1)、与每一炉体(1)配套使用并通过炉体管道(2)相连的炉体泵(3)以及一个滑阀真空泵(4)；所述的滑阀真空泵(4)通过设置的气动蝶阀组件(5)连接有滑阀真空泵管道(6)；所述的滑阀真空泵管道(6)又连接安装有分路管道(7)；而所述的分路管道(7)又连接安装有钢丝波纹管道(8)，所述的钢丝波纹管道(8)上还连接安装有第一真空快装止回阀(9)，而所述的第一真空快装止回阀(9)还连接安装有真空快装三通组件(10)，而所述的真空快装三通组件(10)的两条支路则分别连通到炉体(1)和炉体泵(3)中，并且其中与炉体泵(3)连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀(11)；所述的滑阀真空泵管道(6)与分路管道(7)之间还安装有一主管道(12)；每一炉体(1)均配套设置有一段主管道(12)，全部的主管道(12)相连构成整体主管道。
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