[发明专利]一种基于电容法检测粗糙度的柔性探头及其粗糙度算法

摘要

本发明公开了一种基于电容法检测粗糙度的柔性探头及其粗糙度算法，柔性探头与被测金属之间通过电容测试仪进行电容值测量，包括柔性电极板、内插针、供应连接器、金属屏蔽壳、柔性灌封结构。柔性探头的前端因为柔性灌封结构的作用，使得可以与被测金属表面更好的贴合，以更好的适应被测金属不同曲率表面的测试要求；采用标准BNC‑M‑50KKY连接器制作探头，降低成本；两层绝缘层的外缘均大于金属极板外缘，使得柔性电极板与被测物金属之间接触力均匀；由于本专利的结构组合独创性，所以在实施操作上，比传统光学法及探针轮廓法更为简便易行；采用独特的粗糙度算法结合柔性探头的测量，获取到准确的粗糙度数值。

主权项

1.一种基于电容法检测粗糙度的柔性探头，柔性探头与被测金属之间通过电容测试仪进行电容值测量，其特征在于，包括：柔性电极板；内插针，内插针的一端与柔性电极板电性连接；供应连接器，供应连接器的内芯第一端与内插针的另一端电性连接，供应连接器的内芯的第二端与电容测试仪的第一测试端电性连接，被测金属与电容测试仪的第二测试端电性连接；金属屏蔽壳，金属屏蔽壳完全包覆并对内插针、内插针的一端与柔性电极板的电性连接处、供应连接器的内芯第一端与内插针的另一端电性连接处进行电磁屏蔽；用于封装内插针和柔性电极板之间连接结构并使柔性电极板具有弹性的柔性灌封结构。