[发明专利]一种克尔显微镜

摘要

本发明涉及材料表面磁性测量领域，一种克尔显微镜，包括光源、非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III、半透明反射镜、物镜、激光器、样品、样品台、衬底、步进电机、斜面台、顶针、磁体、狭缝光阑、光电探测器I、补偿器、检偏器、非球面镜IV、光电探测器II，所述光源、非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III、半透明反射镜、物镜依次组成照明光路，所述物镜、半透明反射镜、补偿器，检偏器，非球面镜IV依次组成成像光路，所述激光器、样品表面、狭缝光阑、光电探测器I组成校准光路，无需光阑狭缝来改变样品上的照亮区域，来测量不同方向克尔灵敏度，通过调整开启LED灯的数量和持续时间，获得分辨率较好的图像。

主权项

1.一种克尔显微镜，主要包括光源、非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III、半透明反射镜、物镜、激光器、样品、样品台、衬底、步进电机、斜面台、顶针、磁体、狭缝光阑、光电探测器I、补偿器、检偏器、非球面镜IV、光电探测器II，xy为平面直角坐标系，所述光源、非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III、半透明反射镜、物镜依次组成照明光路，所述物镜、半透明反射镜、补偿器，检偏器，非球面镜IV依次组成成像光路，所述激光器、样品表面、狭缝光阑、光电探测器I组成校准光路，样品位于衬底上表面，衬底的边缘固定于样品台，所述衬底导电，衬底厚度为300纳米，所述样品、衬底、顶针、斜面台依次位于物镜下方，光源发出的光依次经过非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III，被半透明反射镜转变为线偏振后偏向进入物镜，并汇聚到样品表面，被样品表面反射，样品表面的反射光经物镜汇集后依次经过半透明反射镜、补偿器、检偏器、非球面镜IV后进入光电探测器，其特征是：光源由十二个LED灯组成，包括L1、L2、L3、L4、L5、L6、L7、L8、L9、L10、L11、L12，每个LED灯均连接有一根光纤的起始端，所述光纤的直径为1.5毫米，十二根光纤的末端均位于光源的输出端并以十字形排列，其中L3、L2、L1依次排列于正y轴，L4、L5、L6依次排列于负y轴，L10、L11、L12依次排列于正x轴，L9、L8、L7依次排列于负x轴，LED灯发出的光通过光纤引导至光源的输出端，每个LED灯输出功率均为150毫瓦，每个LED灯发出的光的波长均为600纳米，通过调整光路中的非球面镜I、非球面镜II、视场光阑、偏振器、非球面镜III和半透明反射镜，使得光源的输出端成像于物镜的背聚焦平面，所述步进电机连接斜面台，步进电机能够控制斜面台，斜面台仅能在水平方向平移，斜面台上表面与水平面夹角为三度，顶针为柱状且上端横截面为边长五毫米的正方形，所述顶针上端横截面与衬底的下表面接触，顶针仅能在竖直方向移动，顶针下端具有不锈钢球轴承，所述不锈钢球轴承与斜面台的上表面接触，当步进电机使得斜面台在水平方向平移时，从而能够控制顶针在竖直方向移动，并对衬底及样品施加应力，所述顶针、衬底和样品台之间通过电缆串联并连接至一个电流监控系统，从而形成电流监控回路，所述电流监控回路用于监控回路中的电流，以能够确定顶针与衬底的接触程度。