[发明专利]测试压电系数的装置、系统和方法在审
| 申请号： | 201810414286.6 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN109030967A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 吴露;张千;王开安;陈健强 | 申请（专利权）人： | 成都安瑞芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/22 | 分类号： | G01R29/22 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府新区天*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及压电材料检测技术领域，尤其涉及一种测试压电系数的装置、系统和方法。本发明的测试压电系数的装置包括探头，所述探头用于与外部数据处理装置连接，所述探头包括检测探针和压电芯片，当检测探针触碰压电膜靠近探头的表面时，探头可采集压电膜表面以及压电芯片的电压信号并传输至外部数据处理装置从而计算得到压电膜样品的压电系数。本发明的测试压电系数的装置、系统和方法可以基于压电膜的一个表面去进行压电系数的检测，无须破坏压电膜，操作比较简单，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电系数 压电膜 探头 测试 外部数据处理装置 检测探针 压电芯片 检测技术领域 电压信号 压电材料 检测 触碰 采集 传输 | ||
【主权项】：
1.一种测试压电系数的装置，其用于测试压电膜样品的压电系数，所述压电膜样品一表面接地，其特征在于：所述测试压电系数的装置包括探头，所述探头用于与外部数据处理装置连接，所述探头包括连接的检测探针和压电芯片，所述压电芯片一表面接地，当检测探针触碰压电膜样品靠近探头的表面时，探头可采集压电膜样品非接地表面以及压电芯片非接地表面的电压信号并传输至外部数据处理装置从而计算得到压电膜样品的压电系数。
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