[发明专利]一种取片、装片装置及采用它的装片机

摘要

本发明提供了一种取片、装片装置及采用它的装片机，在晶圆台和承片台的中间位置设置旋转驱动装置，驱动装置连接设置摆臂本体，用于驱动摆臂本体在水平方向实现顺时针180°和逆时针180°的旋转；本发明的摆臂本体两端均设置吸嘴，能够同时完成取片和装片动作大大提高了装片效率；其次本发明的摆臂本体顺时针180°、逆时针180°交替旋转，且摆臂本体通过特殊的匸型连接件连接在其旋转驱动装置上，有效防止了气管缠绕。同时本发明结构设置合理，整个装置响应快，装片效率和装片良品率得到了较大改善。

主权项

1.一种取片、装片装置，包括晶圆台和承片台，所述晶圆台用于放置晶圆，所述承片台用于放置载片基板；其特征在于：在所述晶圆台和承片台中间位置设置旋转驱动装置，驱动装置连接设置摆臂本体，用于驱动所述摆臂本体在水平方向实现顺时针180°和逆时针180°的旋转；设置垂直运动驱动装置，用于驱动下述第一吸嘴和第二吸嘴在垂直方向上下移动；所述摆臂本体包括：第一摆臂和第二摆臂，第一摆臂和第二摆臂相背设置于摆臂连接板两端，和摆臂连接板形成一字型的摆臂本体；所述第一摆臂和第二摆臂末端分别设置第一吸嘴和第二吸嘴，用于取出和放置晶圆上的芯片。