[发明专利]压力计组件及真空干刻蚀装置在审
| 申请号： | 201810373943.7 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108896239A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张桂军 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;H01J37/305 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压力计组件及真空干刻蚀装置，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，能够降低与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 压力计 气动阀 传输管道 压力计组件 干刻蚀装置 一端连接 转角 刻蚀 申请 连通 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种压力计组件，其特征在于，所述压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，所述第一气动阀的一端与所述传输管道连接；第一压力计，所述第一压力计与所述第一气动阀的另一端连接，所述第一压力计在所述第一气动阀开启时与所述传输管道连通。
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