[发明专利]可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置在审
| 申请号： | 201810353361.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108592777A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 钱锦绣 | 申请（专利权）人： | 钱立文 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01R27/02;H01G4/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。本发明可检测整个膜幅面所涵盖的镀层方阻值变化情况，适应金属化薄膜规格多样化的监测要求，有利于提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 金属化薄膜 真空蒸镀 测控主机 人机界面控制 在线监视装置 幅面 真空电极 可移动 法兰 方阻 步进电机 操作按钮 垂直横向 室内外电 阻值变化 左移操作 可检测 驱动线 室内外 丝杆滑 针电极 按钮 镀层 镀膜 滑座 右移 室外 室内 涵盖 监测 | ||
【主权项】：
1.可移动的金属化薄膜方阻在线监视装置，包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面控制盒(2)、以及用于真空蒸镀室内外电连接的真空电极法兰(3)；其特征在于所述的测控主机(1)的机架(11)固设在丝杆滑台(6)的滑座(8)上，所述的丝杆滑台(6)由步进电机(7)驱动；所述的人机界面控制盒(2)上设有控制测控主机(1)沿金属化薄膜(5)膜幅面垂直横向水平移动的左移操作按钮(21)、右移操作按钮(22)；所述的真空电极法兰(3)上设有供步进电机(7)驱动线进出真空蒸镀室内外的针电极(31)。
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