[发明专利]一种探空巨压阻气压传感器阵列装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种探空巨压阻气压传感器阵列装置，包括至少一个第一巨压阻气压传感器阵列、至少一个第二巨压阻气压传感器阵列、信号调理电路、模拟选择器、模数转换器、处理器和GPS无线通信模块；第一巨压阻气压传感器阵列、第二巨压阻气压传感器阵列将采集到的数据信号通过信号调理电路处理后，利用模拟选择器选通传输给模数转换器，模数转换器转换后将数字信号传输给处理器，再通过无线通信模块将数据传输给地面的控制中心。本发明还公开了一种探空巨压阻气压传感器阵列装置的测量方法，本发明将中低空量程的气压传感器和高空量程气压传感器相结合，在复合的整个量程范围内，兼顾了高的线性度和高的灵敏度，有效地提高了测量的精确度。

主权项

1.一种探空巨压阻气压传感器阵列装置，其特征在于，包括至少一个第一巨压阻气压传感器阵列、至少一个第二巨压阻气压传感器阵列、信号调理电路、模拟选择器、模数转换器、处理器和GPS无线通信模块；其中，第一巨压阻气压传感器阵列、第二巨压阻气压传感器阵列分别将采集到的数据信号通过信号调理电路处理后，再利用模拟选择器选通传输给模数转换器进行转换，转换后的数字信号传输给处理器，再通过GPS无线通信模块将数据传输给外部的控制中心；所述第一巨压阻气压传感器阵列包括4个相同的第一巨压阻气压传感器，第一巨压阻气压传感器包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，所述绝缘二氧化硅层上表面的四周分别设置有4个正方形截面的硅铝异质结传感单元，每个硅铝异质结传感单元包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端均设置有金属边，每个金属边各自通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接有铝端子；所述第二巨压阻气压传感器阵列包括4个相同的第二巨压阻气压传感器，第二巨压阻气压传感器包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，所述绝缘二氧化硅层上表面的四周分别设置有4个三角形截面的硅锗异质结传感单元，每个硅锗异质结传感单元包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层锗和外层硅，硅锗异质结的两端均设置有金属边，每个金属边各自通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接有铝端子。