[发明专利]多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法

摘要

本发明所述多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法，基于太赫兹技术而实现一种全新的反射式在线测量方法，即先对多层胶片的每个胶层样品进行静态离线测量以标定每个胶层固有材料所导致的实际折射率，以建立后续在线测量厚度的计算对标，利用太赫兹的非接触、高反射性、高精度、无损伤等特性，实现对多层胶片的现场动态测量，以期达到厚度检测的准确度、稳定性的相关标准，进而为多层胶片厚度均匀性检测提供了一种有效的新方法。所述反射式在线测量方法，在线测量过程中，同一组太赫兹波的发射装置与接收装置位于被测量对象的同一侧；利用太赫兹波反射特性，计算出不同层面反射波到达的时间差与强度变化，得出符合以下公式的n层胶片总厚度δ。

主权项

1.一种多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法，其特征在于：在线测量过程中，同一组太赫兹波的发射装置与接收装置位于被测量对象的同一侧；利用太赫兹波反射特性，计算出不同层面反射波到达的时间差与强度变化，得出符合以下公式的n层胶片总厚度δ，所述测量过程包括下述实施步骤，标定每个胶层的折射率，选取每个胶层的测试样品进行太赫兹波测量以得到时间差值ΔTi；再使用标准量具测量出该胶层测试样品的实际厚度δi，带入下式(12)中得到该胶层测试样品的折射率RIi，测试样品折射率RIi作为后续生产现场在线测量此类胶层厚度的依据；在线测量步骤，构成胶片总厚度与每个胶层厚度的关系为，δ＝δ1+δ2+…δn，由发射装置发射太赫兹波，当太赫兹波由每个胶层的上表面反射波和每个下表面反射波到接收装置的时间，可测得ΔTi，由公式(5)计算出的每个胶层样品的折射率RIi，代入公式(11)中，最终得到多层胶片的总厚度δ。