[发明专利]一种调控加电探针与玻璃基板接触的装置、系统及方法在审

专利信息
申请号: 201810292115.0 申请日: 2018-04-03
公开(公告)号: CN108761852A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 苑春歌 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人: 潘中毅;熊贤卿
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种调控加电探针与玻璃基板接触的装置、系统及方法,所述装置包括至少一个夹持装置以及与夹持装置数量相对应的马达,其中:夹持装置包括上盖、底座和探针基座,夹持装置的探针基座上固定有至少一个探针,上盖和探针分别与所述玻璃基板的上下表面相夹持;在探针基座内部位于每一探针底端均设置有一压力传感器,压力传感器用于感测与其连接的探针的压力值;每一马达与一夹持装置的上盖和底座相连接,马达用于控制所述上盖和底座的行程。本发明通过在探针底部加传感器以及对上盖和探针基座进行行程控制,在探针的压力数据达不到要求时,对行程进行修改并控制实现,解决了现有技术情况下探针与玻璃基板接触不良不被发现的问题。
搜索关键词: 探针 夹持装置 上盖 玻璃基板 探针基座 底座 马达 压力传感器 加电 接触不良 上下表面 行程控制 压力数据 传感器 调控 底端 感测 相夹 发现
【主权项】:
1.一种调控加电探针与玻璃基板接触的装置,其特征在于,所述装置包括至少一个夹持装置以及与所述夹持装置数量相对应的马达,其中:所述夹持装置包括上盖、底座和探针基座,所述底座设置在所述探针基座下方,所述夹持装置的探针基座上固定有至少一个探针,所述上盖和所述探针分别与所述玻璃基板的上下表面相夹持;在探针基座内部位于每一探针底端均设置有一压力传感器,所述压力传感器用于感测与其连接的探针的压力值;每一所述马达与一夹持装置的上盖和底座相连接,所述马达用于控制所述上盖和底座的行程。
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